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清华提出震撼世人的EUV光刻厂方案,一文汇总有关信息和论文

EUV光源技术具有极苛刻的要求,需要使用波长仅为13.5纳米的极紫外光源,极紫外光源需要高功率激光与某种材料相互作用
2023年9月16日