宜兴民企自主研发光阻材料 打破外企40年垄断

宜兴民企自主研发光阻材料打破外企40年垄断

2017-06-29 新华网 CINNO

6月26日，宜兴市科技局发布信息:江苏博砚电子科技有限公司通过产学研合作自主研发的LCD生产用黑色光阻材料，主要指标达到了当前国际上同类产品水平，其中高阻抗产品达世界领先水平，即将实现量产。标志着我国在LCD生产用黑色光阻材料上，将打破国外企业40年来的市场垄断，满足我国微电子产业发展的需求。

黑色光阻材料，是LCD制造中的关键材料，40多年来，尽管国际上黑色光阻材料需求量越来越大，但因为黑色的光谱特性，目前，我国所用的黑色光阻材料一直依赖进口，为了打破日企的技术封锁和市场垄断，位于宜兴的江苏博砚在年仅30岁的总经理宗健的带领下，从2014年起，先期投资1.5亿元，引进国际先进的实验设备，聘请多领域具有开发经验的外国专家组成攻关组，并与北京化工大学成立联合研究中心，组成了一个拥有40多人的高水平国际化技术团队进行协同工作，加速推进BM光阻材料的研发与产业化。

江苏博砚在开发过程中，从活性单体的筛选和控制、色浆细度控制和稳定、产品配方设计和优化、最终使用条件匹配和宽容度优化等方面开展了深入研究，提出了高垂直性的解决方案，完成了系列黑色光阻材料的开发工作。特别是高阻抗黑色光阻产品等，具有明显的创新性。

据宗健介绍，因为不同的曝光机的参数不同，所对应的工艺和对黑色光阻材料的要求也具有较大的差异。如果同款产品可以同时满足不同曝光机下的要求，不仅仅节省产线上产品切换，同时也大大减少原材料的使用。现在，国际上很少有能同时满足两种不同生产工艺的BM，而江苏博砚不但自主开发出了一款同时能够满足三种主流应用设备的工艺要求。其次，全新具有高阻抗性质的产品，则同时实现了高的遮旋光性能和高的电绝缘性。从一年多的测试效果来看，光阻产品主要技术性能与日本公司产品相比不相上下，其中在线幅分辨率、形貌角度及直线性能方面优于对手。

日前，黑色光阻材料已通过中国石油和化学工业联合会组织的技术成果鉴定，并申请了10项发明专利。鉴定委员会专家组一致认为，江苏博砚联合开发出的LCD生产用黑色光阻材料，填补了国内空白，其主要指标达到了当前国际上同类产品水平，整体技术达到国际先进。其中，高阻抗产品已经超过了国外大公司的产品水平，已经达到世界领先水平，实施产业化后，对提升我国微电子行业用材料、降低进口依存度等具有积极意义。

据了解，江苏博砚和北京化工大学联合研发的这一项目已经列入"国家重点基础材料技术提升与产业化"重点专项资金的支持，目前公司已建成年产100吨生产线，下一步将加快建设1000吨生产线，真正实现大规模产业化，力争5年累计销售20亿元。(马晓康)