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Coherent(相干)公司专访 | 激光让未来更具柔性

小C君 CINNO 2020-11-10

柔性OLED显示将成为未来一段时间内新型显示技术的主流趋势

平板显示行业正以惊人的速度发展,如今我们已习惯了电视机或是手持移动设备的高清画质。同时柔性OLED显示正在各类移动设备和汽车应用端上掀起巨浪。

随着iPhone X的上市,柔性OLED显示作为未来一段时间内新型显示技术的主流趋势,已经得到了全球消费者的认可,未来折叠屏,卷曲屏等概念也将引爆下一轮显示升级。在此背景下,显示产业供应链也在加大对柔性OLED的投资,特别是中国大陆的面板企业,近几年更是密集投建OLED生产线。据CINNO Research统计,目前大陆共有16座小尺寸OLED量产工厂(实验线未计算在内),其中在建和计划建设的达到8座。

在这样高速发展的背景下,根据CINNO Research预测, 大陆小尺寸OLED产能将在2021年的时候达到全球产能的43%, 实现追赶韩国的目标。

Coherent(相干)公司提供的激光技术在柔性OLED生产过程中起着至关重要的作用

在柔性OLED生产过程中,激光加工对各段制程起着至关重要的作用。利用激光加工还能去掉一些对环境造成污染的化学制程实现“绿色”生产。

在OLED驱动母板LTPS基板制造过程中,ELA激光退火工艺是我们得到高质量低温多晶硅的重要工序。

在全面屏制造方面,激光切割可以提供更多样化的屏幕外观设计,比如目前流行的刘海屏,水滴屏以及钻孔屏等等,并且制作更高效,品质更稳定。

在柔性屏幕方面,LLO激光取下技术是将柔性PI基底和玻璃背板剥离的关键工序。

在OLED全制程中,Laser repair技术可以有效提高面板制造良率。

以上这些,都是激光技术在OLED面板制造中的应用。

在激光产业中,Coherent(相干)公司作为全球领先的激光技术供应商的地位 50 余年无人撼动,据相干公司介绍, 全球LTPS产线中ELA设备核心部件,准分子激光器目前公司为100%市占,在柔性OLED领域,LLO激光取下设备中的准分子激光器同样为相干公司独占。 未来,Coherent(相干)公司将深耕平板显示行业,使用新型激光工艺助力用于从小型移动设备到电视的先进LCD和OLED显示的大批量生产,以及加速µLED新型显示技术的开发。

在DIC 2018,Dr.Christopher Dorman发表了“激光让未来更具柔性”的主题演讲,重点介绍新型激光工艺如何助力用于从小型移动设备到电视的先进LCD 和OLED显示的大批量生产,以及加速μLED 新型显示技术的开发。

Coherent(相干)公司专访 | 激光让未来更具柔性

CINNO供应链资深分析师周华先生荣幸的受邀,在中国•北京2018国际显示产业高峰论坛(DIC 2018)中采访了美国Coherent(相干)公司的副总裁兼总经理,Chris Dorman博士,并进行了深入的交流。

从右至左:相干公司FPD市场战略部胡琼颖博士、相干公司副总裁兼总经理Christopher Dorman博士、CINNO资深分析师周华、相干(北京)销售及业务拓展经理张广平、相干(北京)市场传讯高级专员李颖

CINNO: 

在柔性OLED制造中,LLO激光取下工艺是重要的一步,目前主流技术是使用Coherent提供的准分子激光技术,我们注意到新的剥离技术如DPSS技术也在快速发展中,并且相比准分子激光技术,其运营成本大幅降低,请问Coherent公司如何看待DPSS技术和准分子激光技术的竞争

Coherent: 

我们确实看到了LLO激光取下工艺新技术的发展和进步,包括机械剥离技术,还有DPSS等。我们看到,目前在LLO方面目前主流是准分子激光,但DPSS也占据了一定份额。

首先,Coherent欢迎竞争,我们认为技术竞争是推动工艺进步和科技发展的一大助力。

同时,Coherent并不惧竞争, 在LLO方面,准分子激光工艺是最先也是最广泛使用的,得到了所有客户多年的认可。并且,准分子激光的工艺余量(Process margin)较大,在未来对应各种新型显示技术时,如折叠屏等,当PI材料变化的时候,工程师可以有更多的空间去调整参数得到稳定的良率,我们认为这点是Coherent最核心的竞争优势。

当然,在运行成本方面,Coherent同样在优化改善。针对LLO激光剥离应用,Coherent公司的准分子系统UVBlade系列开发了“按需脉冲”(Pulse On Demand)先进功能,让激光器仅在实际加工进程中才出光,其它时间(例如,基板载入和搬出时)则处于空闲状态。这可大大降低运营成本,并延长激光器和光学器件的维护周期。据Coherent技术人员测算,使用该技术后的设备,结合其他节约成本的方案,使得当下运行成本可以达到和DPSS相当甚至更低的水准。

CINNO: 在当前柔性OLED生产工艺方面,存在两种技术路线,即大板蒸镀封装完成后在大板状态就进行LLO激光取下,或者是在大板切成Panel, 完成模组Bonding等制程后对小片Panel进行LLO激光取下,以相干对剥离技术的理解认为哪种方式比较好

Coherent: 

我们认为从激光取下的角度来看,大板剥离和小片剥离两种方式的技术应用都是成熟的,并且据我们的技术分析,从纯粹激光工艺的角度考量,两种方式的品质和良率应该是相当的,并不会有明显差异或者优劣。

我们认为这两种工艺路线必然是客户综合选择的结果,当然以Coherent公司一贯的策略,我们会和客户紧密合作,并根据客户需求测试和开发相适合的激光应用。

CINNO: 在去年2017年专访的时候,当时提到Coherent公司设备交期18个月,今年是否已经解决此问题,请介绍一下目前Coherent公司的产能状况。

Coherent:

事实上Coherent近几年一直在加大投资扩充产能,特别是Large beam laser方面。

经过这一年的发展后,我们现在的产能已经完全可以应对国内OLED生产线的建设进度,确切的说,我们现在的交期可以控制在9个月左右。这对于OLED设备普遍10个月的交期来讲已经不再是制约客户进度的关键因素。

专访嘉宾介绍

Dr.Christopher Dorman

Vice President and General Manager of Coherent

Chris Dorman是全球激光和光学组件领导者-- Coherent(相干)公司的副总裁兼总经理。他于2002加入Coherent任产品经理,并担任过多项业务管理职位。他在牛津大学获得物理学硕士学位,并在伦敦帝国理工学院获得激光和量子物理学博士学位。他现任英国光学领导小组主席负责苏格兰企业的技术咨询工作,是斯特拉斯克莱德大学的客座教授。他负责Coherent在苏格兰格拉斯哥和德国凯泽斯劳滕的业务,这两块业务主要是设计和生产用于工业和科学应用的超快激光器。

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