不需额外配置蒸镀机！韩国团队开发出支持2250ppi高分辨率的蒸镀技术

CINNO Research 产业资讯，韩国研究团队开发出在智能手机用OLED上最大可实现2250ppi分辨率的蒸镀技术。不需要再额外导入蒸镀机，采用在现有的蒸镀机上经过两个阶段蒸镀有机物的新方式。

OLEDON和檀国大学JIN Byungdu教授团队开发的面蒸发源蒸镀技术概念图

檀国大学风险投资企业OLEDON和檀国大学Jin Byungdu教授带领的研究团队利用现在的金属掩膜板开发出可以最大实现2250ppi分辨率的新型面性蒸发源蒸镀机原创技术。目前实现商用化的智能手机OLED分辨率约600ppi。

金属掩膜板是中小尺寸OLED生产时需要的核心零部件。在金属材质的掩膜板上形成眼睛都看不见的无数的微细孔洞，一张智能手机用掩膜板上约有2000万个以上的孔洞。在形成TFT的基板下配置掩膜板后施加高温后，有机物蒸发，通过掩膜板的细微的孔洞，粘贴到基板上，从而形成像素。

OLEDON和Jin Byungdu教授团队采用通过线性蒸发源进行1次蒸镀后，经过2次面性蒸发源蒸镀，共分为两个阶段的面性蒸发源技术方式。

该技术配置带状形态的金属面，使得可以通过辊子改变位置，使用线性蒸发源将有机物蒸发，进行一次蒸镀。此后，旋转辊子，将一次蒸镀的金属面向上改变位置后，通过加热器加热，在基板上蒸镀有机物。

OLEDON最近使用1000ppi的金属掩膜板，采用面蒸发源方式与仅用线性蒸发源时对比，阴影距离（Shadow Distance）大幅缩短。仅用线性蒸发源方式的阴影距离为2.5μm，采用面蒸发源方式的话，可将阴影距离缩短至0.2μm。

阴影距离是对智能手机OLED形成高分辨率造成障碍的一种现象，指的是通过金属掩膜板的各孔洞的有机物图像重叠蒸镀的部分。根据在金属掩膜板上形成的孔洞模样，金属掩膜板厚度，以及蒸镀方法不同，有机物蒸镀的模样和角度也不同。阴影距离越大，越无法实现清晰鲜明的图像，整体的分辨率就会降低。

另外，分析通过金属掩膜板孔洞的有机物图案，可以看出图案中央和边角部分的模样基本一致。目前商用化的蒸镀方式图案中央部分是平坦的，越靠近边角则越歪斜不平整，而面蒸发源方式则能维持均一的模样。

OLEDON公司代表Hwang Changehun称“0.2μm的阴影区间是基本没有现象的水准”“若要制作2250ppi水准的OLED，面蒸发源蒸镀技术是必须的”。并称“面蒸发源技术不需要增加蒸镀设备，可以在目前的设备上应用”，又强调称“虽然存在工程复杂度增加的缺点，但却是一种可以超越高分辨率障碍的技术。”（来源：ETNews/编译：Peter）

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