武汉天马｜第6代LTPS AMOLED项目二期蒸镀线工艺设备顺利搬入

2019年10月16日上午，武汉天马微电子二期G6 LTPS AMOLED项目蒸镀线工艺设备顺利搬入。

武汉天马G6 LTPS AMOLED生产线二期是2018年6月1日签约，投资145亿元，用于扩大G6 LTPS AMOLED产线产能规模，将光谷打造成为天马OLED总部基地。二期项目建成投产后，G6 LTPS AMOLED生产线一期及二期项目合计形成月产3.75万张柔性AMOLED显示面板的能力。

项目一期于2016年1月主厂房桩基开工；2016年8月，主厂房一期结构封顶；2017年1月，首台工艺主设备搬入；2017年4月，项目产品顺利点亮；2018年5月，产线试产；2018年6月，项目一期顺利投产。

2019年4月16日，中航招标网发布蒸镀机中标候选人公示，武汉天马微电子有限公司的蒸镀机第1中标候选人是CANON TOKKI CORPORATION。

来源：中航招标网

蒸镀设备不止Canon Tokki一家，但是为何造成排队买的香饽饽的现现状，是因为tokki的稳定量产与技术成熟的优势。而且由于本身的产能在过去每年仅生产4～5台，但是近两年Canon Tokki积极扩充产线，已将每年产能提升至12台左右。

其实，现在大部分的G6的OLED线都选择Tokki，是因为Canon Tokki设备厉害是它的传送系统，几乎没有破片，这是良率的杀手，所以一直被称为是设备。因为它直接决定大部分的良率。另外，Canon Tokki的设备精度非常高，能把有机发光材料蒸镀到基板上的误差控制在2μ以内。

天马二期采用Canon Tokki设备，对于未来良率的提升会起到决定性的作用。

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