JDI采垂直蒸镀方式量产OLED，韩国APS供应Mask拉伸机，日本Maxell供FMM
文 | 小C君 · 编译 | Peter
来源 ：Thelec
CINNO Research 产业资讯，在日本JDI的新一代OLED蒸镀技术的商用化上，韩国上游厂商也助了一臂之力。
JDI在最近的2019年2季度（会计基准，2019年7～9月）业绩发布中，首次公布了OLED量产，称“作为全球首个垂直蒸镀方式，本月将开始正式量产。”据 15日消息，JDI将采用韩国KPS的Mask拉伸机和PIMS的Open Mask(OMM)。采用6代(1500mm x 1850mm) Half Cut的蒸镀方式。
JDI称“垂直方式蒸镀设备相比目前的水平方式蒸镀设备，设备所占面积减少30%。”其他的优势没有阐述。JDI在日本千叶县茂原市的OLED生产线月产能为6代基板基准2000张不满。计划将生产苹果手表用LTPO OLED面板。JDI称LTPO技术为Advanced-LTPS。
多年来一直从事蒸镀设备研究韩国业界相关人士称“垂直蒸镀方式很久以来就被判定为是不能实现批量生产的技术”，并称“美国设备厂商Applied Materials在2年前几乎无偿地将垂直蒸镀设备转让给了JDI。”
Applied Materials的垂直方式蒸镀设备的Mask 拉伸设备由韩国APS公司供应。在Mask拉伸设备领域，基本由APS，Hims和Hansong Neotek等韩国设备厂商垄断市场。以前只向三星显示供应Mask拉伸设备的Hims从去年开始正式进军中国市场。今年3季度累计销售额接近去年2倍，达到657亿韩元（约3.9亿人民币）。而同期Hansong Neotek和KPS的销售额分别为158亿韩元（约9494万韩元），127亿韩元（约7631万韩元）。
而在Open Mask 市场也是由韩国3家厂商垄断。其中，三星显示的供应商Sewoo Incorporation的销售额最高，去年销售额达到791亿韩元（约4.8亿人民币）。而向LG显示供应Open Mask的Poongwon精密同期销售额为419亿韩元（约2.5亿人民币）。PIMS相关人士称“去年销售额达到120亿韩元（约7211万韩元）左右。”，“今年预计销售额增长到360亿韩元。”，并称“以FMM工程用辅助Mask的专利为基础，正在迅速成长。”
日本作为显示产业首先兴起的地方，传统显示设备和材料大部分仍旧处于垄断地位。显示用曝光设备也是由Canon和Nikon两家供应。中小尺寸OLED蒸镀设备方面，日本的Canon Tokki和其余的竞争厂商拉开了很大差距。RGB像素蒸镀用Fine Mask大部分是DNP的产品，制造Fine•Open Mask的金属Invar由Hitachi Metal全量供应。
JDI并没有采用湿式蚀刻（Wet Etch）方式DNP的Fine Mask，而是采用日本的Maxell的电铸合金(electroforming）Fine Mask应用于量产。
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