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韩国半导体材料国产化推进!全球第一光刻胶厂日本JSR计划在韩生产ArF光刻胶

CINNO CINNO 2020-11-10


文 | 小C君 · 编译 | Peter

来源 :ETNews


CINNO Research 产业资讯,全球第一的光刻胶(PR)厂商日本合成橡胶公司(JSR)计划在韩国直接生产光刻胶。韩国半导体显示厂商在日本出口限制后加速供应链多元化和稳定化步伐,日本厂商正在探索现地化生产道路。与此同时,代替日本产品的韩国材料量产也进入了倒计时阶段。随着”日韩军事情报保护协定(GSOMIA)终止”有条件延期,日本材料出口限制制度是否会产生变换虽然受业界广泛关注,但是韩国厂商的材料多元化仍旧持续中。


根据28日业界消息,日本化学公司日本合成橡胶(JSR)正在推动在韩国生产半导体生产需要的ArF用光刻胶(PR)的方案。JSR正在考虑在目前有显示材料工厂的忠清北道青州梧仓投资新的半导体材料产线,以便直接向三星电子供应。据确认,JSR曾向三星电子传达了这样的内容。
ArF是韩国主力出口产品-记忆芯片生产中使用最多的光源,光刻胶是与光源作用,在硅晶圆上形成半导体电路的必需材料。ArF光刻胶不是日本出口管制对象清单中的产品,而极紫外线(EUV)用光刻胶在清单中。
JSR是在全球光刻胶市场上占有率达到24%的第一位厂商。JSR在韩国生产建生产线,是因为韩国半导体行业,尤其是三星电子。三星电子全球最大的记忆芯片厂商,是JSR的核心客户。三星电子考虑到日韩纠纷扩大的可能性,正在探索核心材料供应对策,推动材料韩国现地化供应。日韩纠纷会到何时,到达什么境况不得而知,三星树立了这样的未来的对策,JSR为了扩大销售,采取在韩国生产来对应。
对该消息比较了解的业界相关人士称“JSR的韩国投资计划虽然也共享给了三星电子,但最终决策还未下达。
半导体晶圆 与此同时,代替日本材料的韩国国产化尝试正在加速进行。
SK Materials最近实现了气体氟化氢工厂竣工。又称为蚀刻气体(Etching Gas)的气体氟化氢用于去除在半导体生产工程中不需要的电路。

气体氟化氢一直由日本的昭和电工向三星电子和SK海力士供应。但是因日本出口管制,供应问题凸现出来,之后特殊气体专业厂商SK Materials开始了韩国自主化生产。
SK Materials曾宣布今年底供应样品,现在看来加快了速度。该公司已经完成了客户评价等工作,计划明年上半年中实际应用于半导体量产中。SK Materials在庆尚北道荣州的本部建设了统合分析中心,用于半导体材料开发。
为实现液体氟化氢作准备的Soulbrain最近完成了工厂增设。公司于10月底完成了公州工厂的增设,稼动所需要的所有行政程序都已经结束了。
SK海力士开发的3代10纳米级(1z)DDR4 DRAM
液体氟化氢用于去除半导体工程中的晶圆氧化膜。韩国的半导体显示厂商主要使用Morita Kagaku Kogyo和Stella Chemifa等日本的产品。
随着Soulbrain的工厂增设,预计将能够消化掉三星电子和SK海力士需要的物量。此前计划12月完工,随着日本出口管制,进行迅速投资和行政支援等,10月已经完成了所有量产准备。Soul brain的增设工厂生产的液体氟化氢虽然还有待评价,但投入半导体量产线只是时间的问题。
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