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MicroLED量产工艺简化!LC Square开发出激光晶圆分离术
文 | 小C君 · 编译 | Peter
来源 :ETNews
CINNO Research 产业资讯,韩国厂商开发出了更容易且迅速生产Micro LED显示的制造技术。Micro LED作为OLED之后的新一代显示成为业界关注的焦点之一,预计该技术今后将能应用于生产工程上。
LC Square29日宣布称,公司开发出了采用激光,实现在分离晶圆上的Micro LED芯片的同时,在Interpose(中介板)上面迅实现速排列的工程技术。
Micro LED显示的生产主要经过4个阶段。在蓝宝石晶圆上进行EPI材料外延,制造Micro LED芯片后,分离该芯片,制造出中介板。将中介板上的芯片再次移动到显示驱动电路(Backplane)上面进行排列,制造出最终的Micro LED显示。
显示行业将Micro LED分离后整列到中介板上的工程,再将中介板,中介板上的Micro LED转移到显示基板上的作业称为转移。
由于Micro LED显示将超小尺寸LED(一般为100μm以下)作为像素(Pixel)来使用,需要将数百万个的LED紧密进行排列。每个LED都需要转移,生产一台显示器需要经过很长的时间,造成生产费用大幅增加。
为了实现Micro LED显示的大众化。需要确保其量产性,即能够更迅速简单地生产出Micro LED显示。LC Square的技术的核心是实现了制造工程的简单化。
采用LC Square的工艺,将120万个芯片分离,制造中介板的时间缩短为四分之一,收率可达到99.99%。另外,将LED芯片排列到准确位置的精准度很高,整列误差仅有±2μm。
LC Square正在开发采用激光的转移技术。激光的速度快,可以选择性的转移Micro LED芯片,这对Micro LED显示的大批量生产是有利的。Chol Jaehyeok CTO称“采用目前商用化的技术,生产4K显示需要2小时以上,而采用激光转移技术只需要30分钟。”,并称“因为有竞争力,我们计划明年末完成转移技术和设备开发。”
LC Square是韩国纳米技术院的技术创业1号企业。纳米技术院进行LED集中研究的Choi Jaehyeok博士看到了采用Micro LED制造技术的可能性,与三星电子的半导体,Network事业部出身的职员共同进行了创业。
LC Square将参加20年1月份举行的CES,公开Micro LED技术。
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