2021年是Mini LED显示技术成熟商用化元年。在技术层面上,我们仍然面临着半导体及显示行业技术跨界融合的巨大挑战,整个工艺及产业链上仍然存在如LED芯片微缩化、间距缩小、巨量转移、缺陷修补等诸多问题待克服。在此背景下,中国光学光电子行业协会液晶分会将联合中国光学光电子行业协会LED显示应用分会、中国知名电子信息产业咨询公司CINNO Research在DIC 2021展会同期,以「跨界融合、创新发展」为主题,举办首届「国际Mini/MicroLED供应链创新发展峰会(IMDS)」,并邀请到Mini/Micro LED供应链中的核心企业家们相聚一堂,围绕Mini/MicroLED供应链发展中所面临的机遇和挑战,探讨如何通过上下游协作,整合设备、材料、生产、工艺、应用、品牌等资源,携手打好破局之战,实现良好开端!
eLux Inc. Founder & CEO李宗霑Dr. Jong-Jan Lee
演讲主题:《利用流体自组装来实现低成本μLED显示屏》演讲概要:eLux独有的流体自组装(FSA)技术与µLED制程中使用的传统的巨量转移技术相比有几个显著的优势:1、大规模并行装配可以实现每小时百万级以上的µLED芯片转移效率,使用简单的设备和组装即可将制备的基板尺寸扩大到第6代;2、检查和筛选技术可防止缺陷LED芯片进入组装程序;3、流体自组装技术可防止epi晶圆不均匀造成的马赛克图案。此次IMDS论坛上,李博士将具体介绍流体自组装转移技术的研发进展和eLux取得的成果。eLux优化流体组装工艺制作出12.3吋Micro LED样品,良率达到99.987%eLux4月公开向市场透露,已成功达成其Micro-LED显示器商业开发的两个重要里程碑。
图1. 自然良率达99.987%的12.3英寸Micro-LED显示器根据eLux官网显示,这款12.3英寸Micro-LED显示器样品的自然良率达99.987%,由518,400颗GaN Micro-LED芯片组成。在其制作过程中,这些Micro-LED芯片可以在10分钟内组装完毕,组装速度达每小时310万颗。在组装过程中,该样品累计出现了34个异常子像素,其中33个都可以通过激光修复,也就是说其修复后缺陷率为百万分之一。考虑电视应用,假设一款4K电视具有830万像素,上述结果已可以满足Micro-LED电视商业化所需的质量水平。另外,在上述34个有缺陷的位置中,有19个是由于Micro-LED短路引起的,因此,eLux还将就电性参数检查和Micro-LED的挑选过程进行进一步改进,以生产出完全不需要维修的无缺陷显示器。图2照片所示的新型流体组装设备展示了10片15英寸面板在该线体中的全自动盒到盒(cassette-to-cassette)流水装配过程。该流体组装设备具有抓取/回收Micro-LED芯片和装配液的功能,这样可以最大程度地降低运营成本,并且可以在主机架上添加两个附加模块以提高容量。整个制造过程还包括每个阶段(组装,清理,回收和干燥)的自动检查,该检查可以进一步优化和提高线体的产量。与量产设备不同的是,该流体组装设备可对应的产品尺寸可以到15英寸,也就是说该流体组装设备可用于参考,进而更好地设计规划中的3.5代线流体组装设备模块和工艺。与其他传统的Micro-LED显示器制作工艺及设备相比,eLux专有的流体组装技术具有多项显著的优势。其中最重要的是,它支持大规模并行组装,这样可以让制造商使用简单的设备实现每小时超过500万颗芯片的设备组装速度,另外它所支持的组装规模还能够扩展到6代线。eLux开发的检查和芯片挑选技术可以很好地防止有缺陷的Micro-LED芯片进入组装过程,进而保证只有好的芯片被用于最终Micro-LED显示器的制作。另外,这种流体组装技术还能够让Micro-LED随机化,从而防止晶圆不均匀性导致的“镶嵌图案”。这种流体组装方法非常柔和,实验证明可以用于组装PSS基GaN Micro-LED或脆性的红色AlGaInP Micro-LED。该技术适用于尺寸在5至200微米之间的Micro-LED,这些尺寸可广泛用于各种显示器应用。 (CODA/CINNO/CINNO/LED分会 会员专享)推荐阅读
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