渤海大学科研平台巡展--辽宁省微电子工艺控制重点实验室

本期为大家介绍的科研平台是

辽宁省微电子工艺控制重点实验室

科研平台基本情况

人员情况

本实验室科研团队共27人，63%的教师有行业经历，教授及同等职称3人，占11.1%；副教授及同等职称7人，占25.9%；中级职称人数15人，占55.6%，初级职称人数2人，占7.4%。整个团队中，具有博士学位的11人，占40.7%；具有硕士学位的12人，占44.4%，专任教师中具有博士学位的比例达到47.6%。教师分别来自东北大学、中国科学院半导体研究所、吉林大学、哈尔滨工业大学、苏州大学、辽宁大学、长春理工大学等学校，学缘结构合理。教师的年龄结构合理，30岁以下4人，30～40岁间的教师有16人，40以上的教师有7人。

左图：高精度光刻机 

右图：高密度等离子体刻蚀机

设备情况

“微电子工艺控制重点实验室”拥有全套半导体器件与集成电路关键制造工艺设备，涵盖清洗、氧化、扩散、蒸发、溅射、光刻、CVD、刻蚀等11道主要工序，建筑面积300 m2，设备总价值600余万元，可制造成品晶硅太阳能电池、晶体三极管、集成电路放大器等，并对其进行测试验证，供新能源材料与器件、微电子科学与工程、材料类、物理类、精密仪器类等专业的学生进行生产实习和毕业设计，每年接纳学生能力为1200 人次左右。

科研平台取得的标志性科研成果

近五年来，本实验室共获得国家自然科学基金项目5项，省部级项目20余项，其他项目40余项，共计科研经费200余万元。横向项目30余项，共计经费300余万元；发表科研论文100余篇，其中被SCI、EI检索论文50余篇；出版专著5本；授权专利20余项；获得省级教学成果奖一项，锦州市自然科学成果奖5项。

科研平台培养本科生情况

本科生科研素质方面培养

本实验室依托微电子科学与工程专业，主要培养具有小规模集成电路和分立半导体器件的设计、加工和测试等能力的高级本科人才。学生毕业后能够从事集成电路和分立半导体器件的生产和技术开发工作。

本科生实践动手能力培养

本实验室注重学生实践能力的培养。首先，针对微电子科学与工程专业实验技能的特点，增强学生动手能力的培养，加强实验教学质量，配备就业方向相关实验教学内容，对学生的培养更加全面。其次，创建实验基地、工程中心等一系列与课堂教学配套的实践项目，进一步培养学生实践动手能力。

本科生实习、就业方面培养

本实验室在实验方案和实验题目制定过程中充分考虑学生就业需要，坚持分流培养、分层教学、因材施教的原则，针对学生的成绩、爱好和发展目标，采用模块化教学模式推动学生的知识、能力和素质稳步提高。

本科生创新能力培养

本实验室每年度均设置多项大学生实践创新训练、大学生“挑战杯”和学科竞赛、创业计划等创新训练项目。

服务区域经济发展情况

本实验室坚持“立足辽西，服务辽宁，辐射全国”的理念，积极参与微电子科学与工程专业应用型人才过程。利用实验室与企业搭建的产学研平台，学生可定期接受企业相关培训，让学生切身感受到企业环境的熏陶，获得实践锻炼机会。聘请企业高管授课，结合企业实际为本专业学生的人生规划、学业规划和专业素质训练提供有价值的指导，不断提升微电子科学与工程专业服务地方的能力和水平。

以上就是今天

对辽宁省微电子工艺控制重点实验室的介绍

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来源 | 科技处

排版 | 代雨欣

校对 | 杨雨晗  吴倩

责编 | 于姿琰

渤海大学党委宣传部
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