渤海大学科研平台巡展--辽宁省微电子工艺控制重点实验室科研平台介绍

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辽宁省微电子工艺控制

重点实验室

实验室简介

辽宁省微电子工艺控制重点实验室是依托渤海大学由辽宁省科技厅2010年8月批准组建的省级重点实验室。该实验室建筑面积1500多平方米，特别是拥有万级超净实验室2个，共计约 300平方米（局部净化等级可达到千级），设备总值1500余万元，其中万元以上仪器设备40余台。可完成从晶片来料检测、芯片设计、芯片加工、电极制备、器件封装和组件装配等各工艺环节实践操作（图1为电极制备设备——电子束蒸发台）。

图为电子束蒸发台

本实验室以微电子工艺为基础，依托“十三五规划”重点项目-集成电路技术的发展，以计算机仿真技术、自动控制技术、信息检测与处理技术、通信技术、电子信息技术等交叉学科为依托，立足微电子工艺过程的应用技术研究，并与基础研究有机结合，形成一个集科技开发、人才培养、产业化为一体的现代化实验室。该重点实验室通过整合凝练出三个研究方向，分别为：微电子工艺建模与仿真、微电子工艺过程与参数优化、微电子工艺先进控制策略。

主要研究内容

图为高密度等离子体刻蚀机

1、微电子工艺建模与仿真。该研究方向主要研究集成电路和微电子器件制备过程中的光刻、刻蚀、扩散工艺、离子注入、SiO2掩膜生长、合金工艺等的数据驱动建模方法以及计算机仿真系统实现（图2为刻蚀工艺设备——高密度等离子体刻蚀机）。

2、微电子工艺过程与参数优化。该研究方向主要研究微电子电路器件制备过程中的工艺参数优化。通过调整工艺及参数，力求采用数据挖掘技术、最优化方法实现微电子工艺过程与参数优化。如为了提高太阳能电池的效率，优化其工艺参数。

3、微电子工艺先进控制策略。该研究方向包括微电子动态工艺控制和计算机视觉在线检测。在微电子工艺过程中，研究动态先进控制策略，对工艺条件动态实时调整，获得更好的工艺合格率。如研究半导体集成电路及微电子器件的在线视觉测量关键技术。

人员结构及队伍

本实验室拥有一支学术梯队合理、技术水平较高的科研队伍，实验室成员学历和职称较高，现有博士25人、硕士8人，高级职称26人，中级职称7人。辽宁省教学名师1人、辽宁省百千万人才千人层次1人、辽宁省高校青年骨干教师1人、渤海大学学术骨干5人、渤海大学教学骨干3人。

承担主要科研项目

近五年来在国内外权威学术期刊和重要国际会议上，发表有价值的研究论文300 余篇，被SCI、EI和ISTP检索150余篇。承担科研项目100余项，其中主持与参与国家自然科学基金20余项，主持省部级项目60余项，横向课题50余项。获省部级以上奖励2项、其他科研奖励40余项。

本科生培养情况

图为实验中的学生

本实验室共开设实验项目20余个，可供微电子科学与工程、材料类、物理类、精密仪器类等专业的学生进行生产实习和毕业设计，年接纳学生能力为1200 人次。　

以上就是对

辽宁省微电子工艺控制重点实验室

的介绍

来源｜科技处

排版｜张思俣

校对｜赵健汝 代雨欣

责编｜张浩冬 代雨欣

渤海大学党委宣传部

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