滕超：七年磨一剑 突破“卡脖子”

“把光刻胶的样品从色谱柱中洗脱出来，用来测定交联度和分子量，利用的是体积排阻的分离机理。”在广东省深圳市职业技术学院应用技术研发院的实验室里，年轻的特聘教授滕超正在给学生解释实验原理。

别小看他身后那间光线昏黄的实验室，虽然面积不大，里面的每台设备都是滕超眼中倍加珍惜的“宝贝”。今年6月，正是在这间几十平方米的实验室中研制出的光敏聚酰亚胺光刻胶，通过测试验证，性能可以满足进口替代要求。

从研发到成功，滕超和团队在这个项目上钻研了七年之久。相比传统光刻胶，这种新型光刻胶既起光刻作用又是介电材料，可以大大缩短工序，提高生产效率，使我国芯片制造供应链上重要的原料实现了自主可控。

眼前这位科研工作者虽然年轻，但面对团队时表述准确、利落，举手投足间透露着沉着、稳重。这位高分子物理专业博士是“转行”从事新材料研究的，在这个追求速度的领域，他靠什么取得了成功？

故事始于10年前，滕超南京大学博士毕业前夕，一家企业找上门来想要联合研发，才让滕超真正了解当时我国光电显示和半导体产业所面临的现状。“屏幕背后有着一堆源头技术仍然被‘卡脖子’，例如精确控制液晶层厚度的LCD间隔物微球材料，问世近40年了，但技术和供应却仍然被日本企业攥在手里。”

这让滕超作出一个大胆的决定——到离产业最近的深圳去从事应用技术研究！滕超将这个想法告诉了最敬重的薛老师，得到了老师的支持和鼓励。

滕超口中的薛老师，是对他科研路上影响最深的榜样，这位新中国高分子领域的首批博士之一，经常告诫滕超，“做研究不要死盯着数据上的东西，不要只想着发论文，而是要多出对产业有用的成果”。

隔行如隔山，滕超首先挑战LCD间隔物微球项目时，就遇到前所未有的困难。

“技术层面的问题我还可以通过大量阅读和实验来补充提升，最难的是组建团队。”原来，这个项目是研发替代材料而非突破性产品，难以发表论文，因此课题组很难招到人。从做实验、采集数据到分析、测试每个环节，滕超和搭档亲自上手，“几乎在办公室住了一年多”。

功夫不负有心人。在狂补功课和汗水灌注中，交叉学科的知识网络给了滕超“灵光一击”。他设计了一套算法，去精确控制实验当中的变量，终于取得成功：数个工厂同时进行测试，竟破天荒地全部一次性通过。

这也是中国首个能够全面通过平板显示行业测试并具备量产能力的相关产品，打破了日本在此领域几十年来的长期垄断，如今国内的主要平板显示制造企业，全都用上这款高性价比的高精度微球材料。

微球研发的成功给了滕超和团队莫大的鼓舞和信心。2015年，滕超将目光投向困扰芯片研发的关键材料光刻胶。这种材料用于芯片核心部分的电路封装和光刻开口，被日本和美国垄断，并对国内许多领域的企业禁售。

不少企业有苦难言——光刻胶的保质期只有6个月，不能大量存储，长期的技术垄断造成“卖方市场”。这样的垄断不仅体现在最终产品上，还表现在产品的原物料。

“以光刻胶核心的光敏剂为例，我们需要高纯度的光敏剂，国内没有货源，而日本企业在了解到采购意图后都拒绝供应。”回忆起开发过程，滕超的脸上现出苦笑，“我们发现原料这道坎没有捷径，只能新设一个研发小组，硬着头皮从光刻胶的各个组分开始攻关合成方法和提纯工艺。”

项目组从国内能大宗供应的原料化学品入手，最终一步步得到满足项目需求的高纯度光敏剂成品和其他原料。“尽管这拉长了光刻胶的研发周期，但国内产业原料供应链的建立让我们彻底摆脱了再一次被‘卡脖子’的可能。”

滕超资料图（受访者提供）

“学以致用，产业报国。”如今的滕超像他的导师那样，常常叮嘱团队中的数十名博士、硕士生。在这样的氛围中，团队攻下一个又一个“卡脖子”的产业痛点：液晶取向剂、硬化绝缘层材料、电声音质增强材料。

“科研攻关时，要考虑的不能只是商业价值，更多要考虑的是它对国家和社会以及产业有没有贡献。”滕超坚定地说，“必须要把关键核心技术掌握在自己手中！”

（光明日报记者 党文婷 严圣禾）

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制作：董大正

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责编：李佳琦  编辑：岳沛

来源：《光明日报》（2022年8月12日1版）