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荷兰正式加入美国带头发起的制裁行动,影响ASML部分用于成熟制程的DUV设备。近日,ASML的数十家供应商高层将到马来西亚、新加坡、越南等地探查,评估在东南亚设立生产据点的可能性,为了地缘政治风险所做的布局。

荷兰布拉邦省投资发展局为负责安排行程的公家单位之一,并与智慧港工业(Brainport Industries)指出,多数的供应商加入走访行程是正在考虑前往越南、马来西亚扩大或设立生产据点。而这次参与的数十家企业几乎都是 ASML 的供应商,其中包括协助开发用于微影系统的电子控制单元、电力控制与线路系统的Neways、精密机械工具业者NTS Group,AAE BV、Sioux Technologies、VDL ETG等。

荷兰政府计划在夏季前公布对芯片设备制造商的新规定,预计ASML一部分的深紫外线DUV设备将会受到影响。同时也表示荷兰政府将尽可能以谨慎、精准的方式研拟出口管制,避免价值链遭遇不必要的破坏。

ASML 从 2014 年至今对中国出售的DUV设备超过80亿欧元。DUV光刻机设备用在包括手机、电脑、汽车等电子产品,而EUV极紫外线光刻机早已受到出口管制。 ASML强调,荷兰政府的这项出口管制规定并不会影响公司 2023 年或更长期的运营展望。

根据美国这次禁令的方向,主要是想把中国大陆的逻辑晶圆代工厂技术限制在28nm,涉及16/14nm制程及以下的机台会有出口管制的规定。

其实早在2022年,美国商务部即禁止美国设备商出口16/14nm以下的设备给中国大陆半导体厂。既然都限制了美国设备商卖14nm机台,自然不会放过荷兰、日本这些光刻机的设备商。

业界开玩笑表示,就算美国政府不禁荷兰和日本的设备,美国设备商也会去游说美国政府对荷兰和日本的供应商实施封锁,既然我们(美系设备商)不能卖,你们(非美系设备供应商)也休想卖。话说回来,一条半导体生产线上,每一种类的机台设备都缺一不可能,不然也会有长短脚问题。

目前来看,市场的解读是2000i和其之后推出的浸润式光刻机会在这次的出口管制范围,但其他的DUV机台则不会受限。

话说回来,也不用太过焦虑。像是ASML的EUV光刻机虽然早已经列入出口管制,但其实大家都忘了当年台积电推出的第一版7nm制程时,并没有用EUV光刻机,而是用多重曝光的方式做出7nm技术,原因是台积电一直以来比较谨慎,当时全世界没人用过EUV设备,怕匆促上线会影响良率,因此第一版先用多重曝光实现7nm,第二版的7nm制程才用EUV。相较之下,三星就很有冲的性格,第一版7nm制程就导入EUV。

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