HMDSO ：CVD法镀高阻隔膜的合适原料

首先，何为CVD镀膜法？

所谓CVD（化学气相沉积），就是对材料气体进行加热，等离子分解，再使其沉积到基材表面的镀膜方法。可形成覆盖性良好的薄膜。

CVD工艺，是将具有蒸汽压力的原材料进行气化，以气体状态供应到反应槽，给予其一定的能量使其进行分解・反应，并在基材的表面沉积形成薄膜。

热力CVD工艺，是通过热源将原料气体进行分解进行成膜的。

比如:对硅烷（SiH4）进行热分解，可形成多结晶硅Si。此时如果在氧气气氛下进行分解的话，可以形成SiO2。

普通的热力CVD，因原料气体的供应因部位的不同而存在多少之分，会有厚度不均匀的情况。

如果使用减压CVD（LPCVD）这一方法，可延长分子的平均自由行程，使得分子更易于扩散，得到提高膜厚均一性的效果。

如果使用高频能量代替高热力能量的话，可实现低温状态下镀膜。

此制备方法被称为PlasmaCVD（等离子CVD）。

电极与基材相对，通过高频放电，将原材料进行分解镀膜。

PlasmaCVD 镀膜的变化案例

等离子CVD可对各种原料气体・等离子气体相组合使用。

原料气体种类丰富多彩

为了使用硅烷必须具有安全系统

Bulk Silane Installation (CGA)

大宗硅烷系统安装(美国压缩气体协会)

为了使用硅烷必须彻底做到安全系统的考量。

为了使用硅烷必须具备人员防护系统

Personal Protective Equipment (PPE)

个人防护器具

必须有足够的考量用以保护人员。

•General Cylinder Handling 一般钢瓶操作

-safety glasses 安全眼镜

-leather gloves 皮手套

-safety shoes 安全鞋

•System Operations 系统操作

-Faceshield in addition to safety glasses 安全眼镜外加悬挂面罩

-Nomex or equivalent full body protection with hood Nomex 或者同等级的全身带帽防护服

-leather gloves or equivalent flame resistant hand protection 皮手套或同等级防火手部防护

•Emergency Operations 紧急应变操作

-Self Contained Breathing Apparatus 自负式呼吸器具

-Full body Nomex with hood   全身连帽Nomex防护服

-Optional - proximity or entry suit 选用–消防用防火衣

Silane Incidents 硅烷相关事故

•Accidental backflow of Nitrous Oxide into Silane Cylinder – System Design Issue 一氧化二氮  意外倒流流入硅烷钢瓶–系统设计问题

•Cylinder Connection Leak Incident, US 2004 – Improper cylinder connection 2004年,美国钢瓶衔接点泄漏事故- 接头不良

•Taiwan, Silane Explosion, Nov. 23, 2005 – Operation Issue 2005 年11 月23日, 台湾硅烷爆炸–操作原因

•Silane Leak & Explosion Changsha, China Aug 17, 2009 –Operation Issue 2009 年8月17日, 中国长沙硅烷泄漏及爆炸–操作因素

•Silane fire in South China, Jul. 20 2011 – System Design Issue 2011 年7月硅烷火灾，中国南方– 系统设计问题

The Silane Explosion Incident(硅烷爆炸事故)

The Silane Explosion Incident(硅烷爆炸事故)

硅烷在日本发生伤亡事故的报道

神钢KOBELCO 的PlasmaCVD 使用安全可靠的HMDSO

HMDSO

HEXAMETHYLDISILOXANE

C6H18OSi2

Vapor pressure 55mmHg(30℃）

安全，经济，随手可得的HMDSO被应用于神钢KOBELCO 的各大研发，量产PlasmaCVD设备

优越的原料气体与镀膜工艺结合

这种优越的原料气体与神钢KOBELCO等离子CVD技术的完美搭配，为大型水汽组隔膜的量产线增加了保障。目前日本的面向OLED，QD的水汽组隔膜制造商都在使用神钢KOBELCO的CVD设备进行产品的制造。

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