ASML将向大陆供应EUV光刻机！禁运解除了？别太天真！

中国大陆芯片制造产业当前面临多个技术难点，其中之一就是，必须要高端EUV光刻机（极紫外光刻机），才能生产出更高端制程的芯片（比如7nm、5nm）。然而，目前，在全球，仅有荷兰ASML（阿斯麦尔）能够为芯片制造商提供EUV光刻机。

根据数据显示，仅2016年，ASML向全球所有半导体厂商总共供应了139台光刻机！ASML在全球半导体设备市场中占据大约58%份额。

进入2017年以来，台积电为了继续维持自己在全球芯片代工市场中所占霸主地位，一口气就向ASML要来5台EUV光刻机，三星也已经向ASML要下1台EUV光刻机，哪怕每台EUV光刻机单价高到1.1亿美元！整个2017年，ASML仅生产12台EUV光刻机。换言之，ASML仅靠着这12台EUV光刻机，在2017年就取得13.2亿美元收入，这在全球半导体行业中恐怕要算是一大奇迹。不妨拿中芯国际和ASML做一简单对比。2015年和2016年，中芯国际在研发上投入分别为2.37亿美元和3.18亿美元，营收则分别为22.36亿美元和29.21亿美元。

此前，台媒《天下杂志》记者曾经专访过ASML执行长皮特·瓦希德（Peter Wennink）。并且，皮特·瓦希德回答了记者这么两个问题。

记者向皮特·瓦希德所提问题之一是：“ASML出自飞利浦，而当年的飞利浦是有名的高度垂直整合，样样自己做，你们为何会走出开放式创新的研发模式？”

皮特·瓦希德向记者给出答案，简单来说就是：1984年，荷兰飞利浦当时面临经营困境，不得已在集团内部实施大规模裁员方案。ASML也是在那一年从飞利浦独立了出来。起初，ASML其实非常缺乏技术研发经费，而飞利浦本就自顾不暇，没有能力向ASML提供技术研发经费。ASML要在恶劣市场环境里生存下来，就想到一个好办法，那就是ASML在欧洲甚至全球范围内，主动去找到更多组织机构并与之建立合作关系，从而为自身构建起一个大型技术研发网络。

皮特·瓦希德向记者说道：“我们去找政府争取经费，还去找供应商，告诉他们我们的构想是什么，并问他们和我们在技术研发上展开合作好吗？我们一同分享利润。我们因此打造一个很大的研发网络。”

记者向皮特·瓦希德所提问题之二是：“飞利浦虽然已解体，但却孕育出ASML，请问荷兰是怎么做到的，可以给面临后PC时代的台湾一些建议吗？”

皮特·瓦希德向记者说出这样一句话：“当初飞利浦样样都干，最后还是解体了，这证明大型企业巨人的时代已经不合适宜了。未来的主流该是企业、研究机构分工的开放式创新。”按皮特·瓦希德所持一大观点，一个国家科技产业是否强大，最终能发展到何等强大程度，首先得看这个国家当局肯在基础科研方面投入多大资源。而一家科技公司要想在区域或者全球市场中取得辉煌成功，除了要和一流人才一路同行外，还应该坚持在某个行业专注技术研发和创新。

言归正传，日前，台媒《电子时报》记者首次专访了ASML中国区总裁金泳璇（Young-Sun Kim）。金泳璇向记者表示：一方面，中国半导体生产设备市场规模将在未来几年迎来大发展，2018-2019年更是有望呈现跳跃式增长，ASML也将深耕中国市场，还将和中国某些科研机构在技术研发方面开展深度合作。另一方面，ASML对全球各大芯片制造商皆“一视同仁”，只要有一家中国芯片制造商向ASML成功下单EUV光刻机，ASML就能够为这家中国芯片制造商生产出1台甚至多台EUV光刻机。况且，现在已经有家中国芯片制造巨头在和ASML洽谈首台EUV光刻机订单（7nm制程工艺）。“如果最终订单确认，最快预期2019年EUV会首次移入中国晶圆厂，我们对在中国客户装入中国第一台EUV光刻机，抱持乐观的期待”。

下文为金泳璇和《电子时报》记者对话原文：

问：针对国内市场 、客户，各方现在传出许多声音，听说国内晶圆厂都预定不到EUV光刻机 “有钱难买EUV”？ 请问受到产量的限制，还是相传受到国际条约（瓦森纳协定）的外在制约？

答：首先，我必须澄清这绝非事实。中国本地的晶圆厂与所有国际客户的要求，从ASML而言都是一视同仁的，只要是确认订单，EUV要进口到中国完全没有任何问题。由于EUV零组件多达5万多个部件，从客户下单到正式交货，交期约21个月，这个情况，对每个客户都是完全一致的。

事实上，国内客户已进入7纳米工艺制程技术研发阶段，并且与ASML展开EUV的商谈。如果最终订单确认，最快预期2019年EUV会首次移入中国晶圆厂，我们对在中国客户装入中国第一台EUV光刻机，抱持乐观的期待。同时认为一旦一家中国客户采用，其他客户也会快速跟进。

问：EUV似乎是持续推进摩尔定律、延续未来纳米工艺往下延伸的关键，未来进一步规划与ASML对摩尔定律的看法？

答：毫无疑问摩尔定律会继续下去，但每一制程技术节点之间的时间会延长，技术与资本门槛变得更高。浸润式显影技术走到三重曝光(triple-patterning)阶段，成本已然超过EUV，生产交期更长、技术更为复杂，从量产的性价比角度，EUV在7纳米以下技术节点已属于最适方案。目前EUV光源已经可达250watt，达到每小时量产125片12吋晶圆，下一阶段5纳米技术节点以下High-NA EUV已经在布局研发。

ASML光刻机工作原理简图。

问：目前中国市场业务布局与销售情况如何？ 2017年全年成长幅度与2018年的增长率预估？

答：全球半导体行业版图位移，不仅本地晶圆厂，包括国际晶圆厂也在增加中国投资，ASML预期，中国光刻机市场规模具30亿欧元潜力。总体而言，目前ASML在中国市场的装机量累积已达约500台，2018年可望续增超过50台的装机量。不仅一线大客户，还涵盖许多中、小型晶圆厂共计多达40多家客户。

从销售额轨迹来看，中国市场销售额在2013-2015年维持持平，2016年微幅成长至6亿欧元，2017年上半年中国市场销售水平已达4亿欧元，因此今年将较去年将有明显增长。由于中国晶圆厂2018-2019年持续投入资本扩充产能，ASML 2018年销售很可能创下中国区销售新高的纪录，而2019年也会持续呈现更明显的跳跃式增长。

ASML一直秉持“客户在哪里就走到哪里”，目前在中国已经各地设立11个销售与服务据点包括新成立的南京分公司，明年初可能在成都设立分公司进一步深化服务当地客户。

为了强化客户服务与中国客户深度合作关系，ASML也不断壮大营运团队，总部于上海、北京与深圳设立研发中心，全中国员工近600名，今、明两年会持续扩大团队，吸纳优秀人才，并与科研机构展开深度研发合作与人才培训。

对于中国客户来说，单纯只添购设备、使用设备已经不足以满足其需求，提供深度而全方位地光刻解决方案(Holistic lithography solution)与客户携手开展强化微缩技术与优化良率的制程调控，才能符合中国客户的深度需求。

芯智讯：别太天真！禁运依然存在！

《瓦森纳协定》又称瓦森纳安排机制，目前共有包括美国、日本、英国、俄罗斯等40个成员国。尽管“瓦森纳安排”规定成员国自行决定是否发放敏感产品和技术的出口许可证，并在自愿基础上向“安排”其他成员国通报有关信息。但“安排”实际上完全受美国控制。而中国（大陆）就在“被禁运”国家之列。

当“瓦森纳安排” 某一国家拟向中国出口某项高技术时，美国甚至直接出面干涉，如捷克拟向中国出口“无源雷达设备”时，美便向捷克施加压力，迫使捷克停止这项交易。

欧盟实施《瓦森纳协定》，主要体现于2000年6月欧盟理事会通过的“1334号法令”。该法令详细列举了军民两用品和技术清单，以及武器清单，其基本内容与“瓦协”的清单没有太大差别。在军民两用品和技术清单方面，该法令涉及到核材料、技术与设备；新材料、化学品、“微生物和有毒物品”；材料处理；电子；计算机；电信和“信息安全”，传感和激光；导航与电子；船舶；推进系统、航天器及其相关设备等共10大类。这项法令后来经过多次修订，目前成为对华高科技出口管制的主要“指导性文件”。

根据知乎用户dax eursir的说法：英特尔、三星、台积电2015年就能买到荷兰ASML的10nm光刻机，而中国大陆的中芯国际2015年只能买到ASML 2010年生产的32nm光刻机，5年时间对半导体来说，已经足够让市场更新换代3次了。

《瓦森纳协定》是真实存在的，国外对于中国的高科技封锁也是真实存在的。荷兰属于欧盟国家，故总部位于荷兰的ASML也必须要遵守欧盟的“1334号法令”。那么为何ASML中国区总裁金泳璇说“这不是事实”？而且还表示大陆已经有厂商购买了ASML的可以生产7nm的EUV光刻机？

今年6月，ASML就曾宣布将和上海集成电路研发中心有限公司（ICRD）合作，双方将在上海共同设立一个培训中心。并且，ASML还将面向国内半导体工程师开展技术培训。而当时国内一些业内人士就此推断，未来，ASML会向国内供应EUV光刻机。

确实，ASML肯定会向国内供应EUV光刻机，因为大陆的市场很大，需求也一直存在，只是，什么时候卖给大陆才是根本问题！

从目前全球半导体制程的进展来看，明年，也就是2018年，台积电和三星的7nm将会量产，此前台积电、三星和英特尔都已经采购了多台ASML的EVU光刻机。而根据金泳璇的说法，“最快预期2019年EUV会首次移入中国晶圆厂”，但是如果要量产恐怕最快也要等到2020年，甚至2021年以后了，而到那时，台积电、三星的5nm可能都量产了！也就是说，中国的制程技术与国外的差距至少还有一代以上的差距。

“其实（瓦森纳协定）一般要求满足国外与国内量产技术相差1.5代就可以”。一位业内人士这样告诉芯智讯。而且可以采购一台相对比较先进的光刻机用于研发，但是即使研发出来了先进的工艺，你如果只有一台研发设备也没法量产。

显然，即使ASML真的向大陆厂商出售可以生产7nm的EUV光刻机（实际2019年才能进厂），也仍然是符合“瓦森纳协定”要求的。所以，即使ASML向大陆开放EUV光刻机的购买，也并不是真的意味着“解禁了”。如果你真的天真的相信了，那真的是“Too Young Too Simple”！

编辑：芯智讯-浪客剑

稿源：综合自电子时报、我为科技狂、百度百科

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