德国TEM激光光束指向和位置稳定系统介绍

负责人刘工

扫码试用

一、产品概述

激光光斑漂移问题解析

德国TEM研发的激光束自动稳定系统-Aligna和ualigna系统使用2个PSD 2D探测光束指向和位置偏移量，闭环反馈控制快速反射镜实时补偿光束偏移，反馈精度可达1urad，反馈带宽>1kHz。系统提供的自学习软件算法可以适用于任意光路布置方案，并进行快速优化锁定，解决了机械振动引起的位置漂移和高功率激光器引起的角度漂移。Aligna系统大幅提高激光加工精度，并提供自动校准光路功能。目前广泛应用在太阳能薄膜电池划线、PCB及柔性屏精密切割、激光精密打孔、半导体晶圆在生产制造过程中的切割、测量、曝光控制等。此系统已被Manz、BOSCH、三星、LIS、TRUMPF、TOPTICA Photonics、等公司广泛应用。

二、多光路控制系统

系统配置

☛ Piezo和Motor嵌套式快速反射镜

☛ 4D 位敏探测器（光束位置和角度）

☛ 多光路控制机箱（包含快反镜驱动，探测信号处理模块，PID调节器等）

☛ 软件（自学习优化算法，全自动闭环稳定，光束坐标及功率监控）

系统特点

☛ 连续波和脉冲激光器:  重复频率 0.1 Hz- 200 MHz / 连续波 

☛ 模块化系统, 单装置4光束控制 

☛ 反馈精度:    1 µm,  1 µrad   (最低可达 10-100 nm) 

☛ 超大扫描范围:  接近 18° 

☛ 全波段 (标准: 380- 1100 nm, 定制180 nm- 10 µm, THz),  任意光束直径 

☛ 高速度:伺服频宽超过 5 kHz ，压电驱动制动器和机械装置多种组合 

☛ 全计算机控制 (USB, 串口, 局域网) ，完全独立操作 

☛ 外部测量装置连接件  (功率计, PDs, ...)

三、单光路控制系统

系统配置

☛ Piezo和Motor嵌套式快速反射镜

☛ 4D 位敏探测器（光束位置和角度）

☛ 单光路控制机箱（包含快反镜驱动，探测信号处理模块，PID调节器等）

☛ 软件（自学习优化算法，全自动闭环稳定，光束坐标及功率监控）

系统特点

☛ 连续波和脉冲激光器:  重复频率 15k Hz- 200 MHz / 连续波 

☛ 模块化系统, 单光路光束控制 

☛ 反馈精度:    1 µm,   1 µrad   (最低可达 10-100 nm) 

☛ 超大扫描范围:  接近 18° 

☛ 全波段 (标准: 380- 1100 nm, 定制180 nm- 10 µm, THz),  任意光束直径 

☛ 高速度:伺服频宽超过 5 kHz ，压电驱动制动器和机械装置多种组合 

☛ 全计算机控制 (USB, 串口, 局域网) ，完全独立操作 

☛ 外部测量装置连接件  (功率计, PDs, ...)

四、产品应用

昊量微信在线客服

点“阅读原文”了解更多