国内首套，川大研制！

我校“无线能量传输”工科特色团队基于自身科研积淀，研制出国内首套全国产化的用于半导体键合的高性能微波等离子体清洗装备。目前样机已进入生产测试阶段，测试工作进展顺利。9月7日晚20点，中央二台《经济半小时》栏目对团队装备和揭榜挂帅项目进行了报道，学院项目负责人出镜做了项目进展和装备进展的汇报。

团队揭榜合肥市重大专项“用于半导体键合的微波等离子体清洗装备研发及产业化”项目。3月，在合肥市科技局相关领导、我校电子信息学院邰明松书记和科研院相关负责人见证下项目启动。经过半年的艰苦攻关，团队完成用于半导体键合的微波等离子体清洗装备第一代产品样机研发，该样机系统集成了高均匀性微波等离子体发生技术和自动化清洗控制技术。高均匀性等离子体面积突破1700平方厘米，实现了引线框架的自动进出和清洗，完全达到生产线需求，为该装备的批量转产打下坚实的基础。与常规技术相比较，该技术封装质量高、清洗速度快，将来有望进一步拓展其在引线框架清洗领域的应用，为半导体生产装备的国产化提供有力支撑。

我校无线能量传输工科特色团队在杨阳教授、朱铧丞副教授、邓国亮副教授三位青年学术带头人带领下长期从事大功率微波系统、新型激光、光电子技术和激光/微波能工业应用等领域的工作，并已成功转化专利10项，产生了积极的社会经济效益。

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大川

来源/电子信息学院

编辑/袁月