【芯源微】前道Track快速放量，12吋KrF涂胶显影设备首进产线

资料来源：微电子制造 2022-12-14 18:42 发表于上海

12月13日，芯源微召开2022年第三季度业绩说明会。

会上，董事长兼总裁宗润福表示，“公司前三季度新签订单大幅增长，不仅后道及小尺寸销售符合签单预期，前道offline、I-line、KrF机台均实现批量销售，而且前道Track签单实现了快速放量。”

据了解，芯源微前道领域产品已经开始放量，前道新签订单占比不断提升。其中，公司前道晶圆加工领域用物理清洗机今年以来陆续获得了中芯国际、上海华力、青岛芯恩、武汉新芯、北京燕东等多个前道大客户的批量重复订单。

据介绍，公司前道Track成功打破国外垄断并填补国内空白。前三季度前道Track签单实现了快速放量，前道offline、I-line、KrF机台均实现了批量销售。今年前道Track新签订单中，以I-line、KrF为主。前道涂胶显影设备方面，除了获得中芯京城、上海华力、长江存储、合肥长鑫等客户重复订单外，今年公司12寸KrF涂胶显影设备首进士兰集科。

产能布局方面，公司目前在沈阳有两个产区，据悉，主做前道涂胶显影机KrF及以下工艺机台以及前道物理清洗机等产品的沈阳彩云路厂区已于今年7月末竣工；主做前道涂胶显影机ArF及以上工艺机台以及前道化学清洗机的上海临港厂区已正式开工四月有余，预计春节前完成各个单体建筑的结构封顶。目前来看沈阳彩云路新厂区已经基本达到了满产，公司整体生产压力还是比较大的，后续会视订单情况进一步对产能进行补充。

此外，前三季度，公司新签订单规模显著提升，前道Track签单实现了快速放量，前道offline、I-line、KrF机台均实现了批量销售。截止三季度末公司存货12.86亿元，合同负债6.04亿元，在手订单充足，成长动能饱满。

芯源微主要产品包括光刻工序涂胶显影设备和单片式湿法设备，可用于8/12英寸单晶圆处理及6英寸及以下单晶圆处理。公司主要客户包括中芯国际、上海华力、长江存储、合肥长鑫等多个前道大客户，以及台积电、长电科技、华天科技等多家国内后道及化合物一线大厂，是国内半导体设备产业细分市场的“隐形冠军”。