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【墙角数枝梅,凌寒独自开。】
DRAM专题新开地图《High Performance Memory Testing》,附图为学习资料封面。相信DRAM的基本概念、结构这些,老师们已经烂熟于心了,今天来了解下DRAM的电容器。这一篇呢,基本上是以图为主,看多了,DRAM的概念就出来,虽然我不知道怎么表达,但是我知道这个是个什么玩意儿,这样可以吗?
DRAM结构:
DRAM存储数据的本质就是电容器,先来看看长啥样?
沟槽电容,主要要考虑如何挖出高深宽比的沟槽,生长垂直氧化物,导电多晶硅填充沟槽,减少对电容器的干扰等。
有点难看,再靠近点:
看看Stacked Cap,电荷存储在芯片的有源器件层上方。
结合起来看看:(图片来源网络SlideServe)
是不是有一点概念了?
对应各个节点看看:
最后看看发展趋势(图片来源Semiconductor Engineer)制程不断减小,当前都是2D,未来可能出现3D,类似现在的NAND Flash?
Selector Element这里指的是什么?
上图对比一下不就知道了?来吧!
看出来了吗?这里的F代表特征尺寸,这样的话4F2-6F2-8F2是不是可以理解为占用的面积?