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5月23日消息，北方华创发布公表示，已收到北京市经信委通过北京电子控股有限责任公司拨付的国家科技重大专项地方政府配套资金合计2.1亿元。
公告显示，共包含四个项目，分别为45-32nm LPCVD设备产业化”项目、14nm立体栅等离子体刻蚀机研发及产业化项目、28-14nm原子层沉积系统(ALD)产品研发及产业化项目以及14-7nm CuBS多工艺腔室集成装备研发及产业化项目。
北方华创指出，将本次政府补助到账资金作为递延收益， 在相关资产达到预定可使用状态后，在资产的使用期限内平均分摊计入损益。 截至公告日， 相关资产尚未达到可使用状态，此部分金额尚未分摊计入损益。
2017年5月，北方华创也曾收到了“14nm立体栅等离子体刻蚀机研发及产业化”项目、“28-14nm原子层沉积系统（ALD）产品研发及产业化”项目、“14-7nm CuBS多工艺腔室集成装备研发及产业化”项目的地方政府配套资金共约1.9亿元。
据系，这三个项目总经费分别为12.35亿元、5.51亿元、6.78亿元，政府承诺将补贴8亿元、3.6亿元、2.98亿元。
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