半导体制造“供血不足”，电子特气国产化亟待提速
随着6月29日中巨芯科技股份有限公司的科创板IPO过会，科创板的“高精尖”半导体相关产业队伍进一步扩大，电子特种气体行业也将受到了新一轮关注。电子特气是中巨芯科技股份有限公司主营业务之一，其中高纯氯气、高纯氯化氢已在中芯国际（688981.SH）、华润微（688396.SH）、士兰微（600460.SH）等多家企业通过认证并批量供货。
作为电子工业重要的原材料之一，电子特气在半导体行业的地位愈发凸显，并在晶圆制造过程中占材料成本的14%左右，几乎渗透到集成电路生产的每个环节，对集成电路的性能、集成度和成品率都有较大影响，被称为半导体制造的“血液”和“粮食”。但在这一领域，我国还明显存在“卡脖子”现象，国产化进程亟待提速。
行业高度集中
国际巨头寡头垄断
在残酷的高科技争夺战中，芯片问题始终是民族工业之痛。设备中的光刻机，芯片材料中的高端光刻胶等核心制造技术，均掌控在国际厂商手中。电子特气也不例外，其市场格局长期以来被巨头垄断。
从全球电子特气市场占比来看，由于海外特种气体市场的发展较早，国际主要工业气体巨头形成了深厚的技术积累和产品布局，特气已成为其收入的重要组成部分。美国空气化工、法国液化空气、日本大阳日酸、德国林德集团等海外巨头占据着全球市场91%的份额，形成了寡头垄断的格局。
因电子特气产品的重要性，也成为各国攻克的目标。韩国近期宣布实现了高纯度氯化氢的国产化，三星电子、白光化学等在电子特气上的突破，使韩国有望逐步摆脱产业链对日本等国家的依赖。事实上，从2019年开始，日本政府就启动了对韩国三种半导体材料的出口管制。
国内市场也大致相似，几大跨国巨头主导了国内份额的88%，国内厂商仅占据12%。半导体领域电子特气国产化率不足15%，国产替代需求强烈。从产品种类上看，据中国工业气体工业协会统计，目前集成电路生产用的电子特气，我国仅能生产约20%的品种，其余均依赖进口。
面对多重壁垒
突破垄断难度不小
工业气体主要来自炼钢的副产品，而中国作为钢铁大国、工业大国，电子特气为何会受制于人呢？
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技术壁垒。经过多年的发展，国内电子气体产业逐渐攻克技术难点，极大程度缓解了“进口依赖”局面。但是，目前国内的电子气体相关技术更多还在解决“能用”的问题，部分涉及到“好用”层面的关键技术，依然存在“卡脖子”的现象。其中包括大宗气体提纯净化的生产技术、特种气体保供的生产技术等，这些则需要技术积累与沉淀才能实现产业链“补短板”的最终目标。
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认证壁垒。电子特气需要晶圆厂和设备厂商2轮的严格审核，而集成电路领域的认证至少需要2年时间，一旦获得客户认可，便不会轻易更换供应商。当前，不少芯片巨头已和气体供应商建立了长期的合作关系，形成了稳固的上下游产业链。
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市场壁垒。在市场格局被外资把持的背景下，国内气体企业缺少上机检测的机会。面对国产品牌的桎梏，气体企业很难实现从0到1的突破。不过，近年来，长鑫存储、长江存储、中芯国际不断发力，晶圆产能向中国市场倾斜，国内企业拥有了更多的成长机会。
增长空间广阔
国产替代动力强劲
自2009年以来，我国电子特气行业得到国家政策大力支持。
2017年1月
工信部等四部委首次提出“加快高纯特种电子气体研发及产业化，解决极大规模集成电路材料制约”。
2019年12月
工信部发布的《重点新材料首批次应用示范指导目录（2019版）》中指出，将用于集成电路和新型显示的电子气体的特种气体——高纯氯气、三氯氢硅、氯化氢、氧化亚氮等列为重点新材料。
工信部副部长徐晓兰指出，中国是全球重要的集成电路市场。近年来，在内外资企业的共同努力下，我国集成电路的产业规模不断壮大，产业技术创新能力大幅增强，2021年全行业销售额首次突破了万亿元。2018至2021年复合增长率为17%，是同期全球增速的三倍多。
由于本土电子特气厂商扩产速度快、人工及原材料成本低，一旦相关技术实现突破，产品竞争力远胜于海外企业。长远来看，我国高端电子特气国产替代势在必行、增长空间广阔。据SEMI及江苏省半导体行业协会测算，至2023年，我国电子特种气体市场总规模将达到238亿元。
当前，部分电子特气已经逐渐实现国产化，国内企业进入者增多，大体可分为三类。
●第一是以华特气体、金宏气体为代表的气体公司，主营业务以工业气体为主，该类公司气体产品种类较多，逐步覆盖电子气体部分品种。
●第二是以派瑞特气（中船重工718所）、昊华科技、华宇同方等为代表的专业特气公司，立足于电子特气主营业务，经过多年的技术积累，部分品类已形成了独特的竞争力，发展潜力大。
●第三是以雅克科技、南大光电为代表的电子材料平台型公司，通过并购以及自主研发方式实现了光刻胶、电子特气等产品的多维布局，两家公司电子特气板块占比分别为16%、72%。
“过去几年，在我国半导体产业发展带动下，国内电子特气企业迅速兴起，已解决了部分电子特气材料国产化的问题，大大降低了半导体产业的生产成本。”全国人大代表、中国船舶集团有限公司第七一八研究所副所长郭建增表示，为提升我国电子特气产品国际竞争力，未来还需要强化电子特气产业链上下游企业的合作与协同，支持电子特气企业与电子元器件、软件、整机企业加强联动，通过战略联盟、资本合作、技术联动等方式，实现各环节企业的群体跃升。
审核：徐向阳
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编辑：左宗鑫