匠心造“匠芯”！我校姚锦元老师荣获第三届“徐汇工匠”称号
近日，徐汇区总工会
公布20位第三届“徐汇工匠”名单
上海交通大学电子信息与电气工程学院
姚锦元老师入选
祝贺姚老师！
姚锦元，上海交通大学高级实验师，“MEMS多元兼容集成制造技术团队”成员，上海市非硅微纳集成制造专业技术服务平台主任，硕士生导师。在非硅微纳集成制造领域一线耕耘三十六载，曾参与我国首条非硅微纳集成制造工艺线建设，推动建成并主持运营上海市非硅微纳集成制造专业技术服务平台。曾获2007、2016年上海市技术发明一等奖，2018年工博会特等奖、高交会优秀产品奖，2021年上海交通大学卓越高级实验师，2022年中国产学研工匠精神奖。
培育创“芯”人才，服务科教兴国
上海市非硅微纳集成制造专业技术服务平台是上海研发公共服务平台集成电路组唯一的非硅专业技术平台，支撑了上海交通大学芯片相关领域2个一级学科、11门专业课的教学与基础实验，并依托上海交大国家示范性微电子学院，与德州仪器、台积电、华力微电子、Intel、泰瑞达、展讯、中芯国际、Cadence、 Synopsys、IBM等顶部企业达成了广泛合作和联合培养计划，每年为集成电路相关领域输送120余位研究生。作为平台主任，姚锦元积极投身平台建设，重视学生在专业技能和科创能力方面的成长成才，努力为师生提供充足的实验条件和广泛的科研思路。平台教师多次参与指导学生参加上海交通大学“学术之星”评选、全国大学生创新创业大赛等，多项成果发表在 IEEE Trans、Advanced Materials、IEEE MEMS、IEEE ECTC等领域内顶级学术期刊和会议上。
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强化队伍建设，助力科技兴邦
感知芯片被誉为工业之“米”，针对研发类实验制程工艺复杂多变、技术手段迭代迅速等难题，姚锦元不断向国际先进实验室学习，充分利用非硅平台拥有的多项特色工艺和装备，通过师资整合和人才引育开展传帮带互助共建活动，逐步形成了一支由数十名专业人员组成的非硅集成制造工艺团队，有力促进了实验平台的高质量发展。平台先后支撑了校内外30余位教授团队100余项国家和企事业单位科研任务的圆满完成，并为20余项省部级以上奖励提供了有力支撑。平台以前沿探索、技术研发、创新创业服务等为功能目标，其“专、精、特、新”的可持续建设和支撑服务受到专家的一致好评，多次获得市科委专项资金的滚动扶持。
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坚守匠心精神，赋能创新发展
一事一辈子，匠心造匠芯。姚锦元潜心钻研非硅工艺，熟练融通各类工艺设备，针对材料多、谱系广、结构复杂等工艺难以兼容的领域难题，他勇于创新、追求卓越，不断突破一系列技术瓶颈，先后归整了20余种特色单元工艺，组合形成金属基、生物基、陶瓷基等多种非硅成套工艺，为MEMS多元兼容集成制造技术框架体系的形成提供了重要技术支撑。姚锦元还参与研制了包括MEMS薄膜高温传感器、植入式血糖软针电极，以及微纳能源电极等多种器件，突破了多项金属材料及柔性衬底微加工工艺难题，先后主持并参与了包括微型质谱仪在内的各类科研项目27项，发表论文48篇，参加编制国家标准2项，申请专利48项，技术转让2项。
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坚守奋斗初心，践行工匠精神
为姚老师点赞！
来源：电子信息与电气工程学院
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