【前沿技术】英特尔以硅基技术成功制造量子芯片

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来源：《半导体芯科技》杂志10/11期

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在2022年硅量子电子研讨会上，英特尔实验室宣布以现有硅基半导体技术成功生产自旋量子计算芯片，这为未来量产量子计算机打下基础。英特尔表示，最新研究结果是目前业界最大的硅基自旋量子运算芯片，量产芯片切出裸晶表现高度均匀性，芯片良率超过95%。这一成就代表了英特尔在晶体管制造工艺上扩大规模和努力制造量子芯片的一个重要里程碑。

英特尔的研究使用极紫外（EUV）光刻技术制造，并使用专门设计的量子低温探测器Cryoprober对最新硅自旋量子运算芯片进行了测试，该设备在极低的温度（1.7开尔文或-271.45摄氏度）下运行，以保持量子比特的稳定性，从而使其可用于计算目的。测试确认自旋量子运算芯片运行稳定性。Cryoprober也证实300毫米晶圆上95%的量子位封装芯片按预期工作。这对英特尔来说尤其是好消息，因为到目前为止，大多数量子芯片生产努力一次只能制造一个。英特尔的EUV工艺现在似乎能够在晶圆上制造多个量子芯片，且具有出色的均匀性和良率。

英特尔的量子计算芯片制造技术，是允许单电子状态跨芯片自动收集数据，以完成迄今最大单量子点和双量子点，也就是超过900个单量子点和超过400个双量子点。

英特尔量子硬件总监James Clarke表示，这代表未来能朝商业量子计算机数千或数百万个量子比特方向迈出重要一步。完成高产量和均匀统一性，也代表英特尔晶体管制程制造量子芯片可行，且随着技术成熟将实现商品化，帮助量子运算发展。