全国首家12英寸晶圆再生工厂在合肥量产！

今日上午，合肥至微项目正式量产，这是国内首个立项又最先量产的12英寸晶圆再生工厂，填补了我市集成电路产业链又一空白。  

 所谓“晶圆再生”，指的是通过去除损耗控挡片表面的杂质和缺陷，使处理后的晶圆达到新片的标准，实现其循环再利用，进而为企业节约大量成本。

合肥至微半导体鸟瞰。

合肥至微项目总投资近10亿元，2020年3月正式开工，2020年12月项目设备基本搬入调试，2021年3月，进入试生产阶段，至6月进入量产阶段。

合肥量产的这一晶圆再生项目以14纳米晶圆厂的再生晶圆需求为设计基础，是服务于中国半导体高阶市场的首条投产的12英寸晶圆再生产线。该项目全面达产后，可形成每年168万片晶圆再生及120万件零部件清洗的能力，满产后年产值可超过6亿元。

合肥至微半导体有限公司是至纯科技旗下半导体晶圆再生和部件再生项目的载体，为集成电路企业12英寸晶圆提供晶圆再生及零部件再生服务。

作为国内最先量产的12英寸晶圆再生工厂，该项目填补了我市集成电路产业链的又一个空白。在此之前，国内高阶的晶圆再生需求都要送到日本、中国台湾等地处理。而随着至微项目的量产，合肥将成为满足晶圆再生需求的重要基地。

经过多年发展，合肥已成为国内集成电路产业发展最快、成效最显著的城市之一。合肥至微项目的成功量产，将成为国内最早具备12英寸晶圆再生及关键设备零部件再生能力的项目之一，这为我市集成电路产业链添上重要一环，也为产业高质量发展注入了新的动力。晶合的晶圆产品。

（来源：合肥日报、合肥新站区）

往期精选