casaxps分析xps数据的基本操作

xps数据分析的软件（各种软件下载）很多，之前我们介绍了avantage(图文，视频上，视频下)、xpspeak(图文1 、视频1、双峰图文2、双峰视频2)，origin(视频)、peakfit(视频)，这次我们介绍casaxps(视频教程请移步同名B站观看，之后会在公众号补上）如何分析XPS数据；

如果拿到的测试结果不是vms格式，可以按照之前的教程（vgd转avg图文、vgd转avg视频、多种格式相互转换图文、多种格式相互转换视频）进行转换然后就可以用casaxps分析。

1.打开casaxps,可以全选所有谱图拖拽至右侧界面，也可以file -open选中所有谱图打开，这样在右侧界面就会出现所有谱图，双击每张谱图可以在左侧界面出现对应的谱图，首先我们分析全谱：

2.点击options-elements-find peaks

3.软件会自动寻找所有的元素所有轨道的峰，这样看起来很杂乱，如果只想看需要的轨道和元素，点击options-annotation-peak labels，选中需要的轨道和元素，然后点击apply;

4.继续点击options-elements，点击clear all elements清除不需要的元素，即完成标峰操作；点击creat regions完成全谱定量，可以单独拖拽峰的范围进行区域选择；

5.精细谱分析，做精细谱分析时首先分析碳，因为先对碳分峰拟合完毕，才能校正所有谱图，之后才能分析别的精细谱，我们以碳为例对casaxps分峰拟合操作进行介绍；，双击碳的精细谱；

6.点击options-quantify-regions点击create创建基线，如果基线不合适可以根据需要更改参数，包括基线类型，积分范围等，请注意，在casaxps软件中，更改某一个参数请ctrl+鼠标左键，修改完成后点击enter才算更改成功，不点击enter，参数不会变；

7.点击components-create添加峰，添加合适的峰个数以后，点击fit components拟合，拟合规则参照（xpspeak基本操作），各个峰之间的参数关系与其他软件类似，仿照设置即可，拟合完毕，最后一行的数据即每个化学态的含量比例，如果某一个峰多余了，可以选中这个峰，然后点击cut删除，然后继续fit components；

8.对碳进行拟合之后，在对其他元素分峰拟合之前，需要对所有谱图进行碳校正，找到污染碳的实际峰位284.4185，点击options-processing；

9.点击calibration-按图顺序操作，1输入实际峰位，2输入校正的峰位，将3，4打勾，点击apply,即可实现校正操作，校正完以后就可以继续对其他元素分峰拟合；

10所有分析结束之后，可以点击上方的按钮导出数据点格式的数据，然后放入excel或者origin中画图，请注意，casaxps导出的数据第一列为动能，第二列为结合能，画图时X轴选择第二列，之后就可以按照之前的视频进行画图（origin填充的基本操作）；

本文所涉及的数据请公众号后台回复“数据4”获取；

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