上海交大国家重点实验室104页PPT详解MEMS中的动力学问题研究

本资料来自上海交通大学振动、冲击、噪声国家重点实验室，是一份硬核技术资料。

主要讲解MEMS工艺过程中的动力学问题，包括了MEMS基本概念、模型、历史回顾、加工技术、研究成果、应用现状等内容，推荐需要深入了解MEMS技术的童鞋分享、收藏。

《MEMS若干动力学问题研究》（104P无删减，PPT）资料全文可在传感器专家网公众号后台回复关键词【MEMS动力学问题】获取保存、下载链接。

避免错过传感器行业深度资讯、报告，以及传感器技术、传感器与测试技术、物联网传感器技术……等传感器知识，请关注传感器专家网公众号，设为星标，查看往期内容。

因公众号篇幅有限，文档阅读体验不佳，本文放置PPT部分内容，剩余内容可在传感器专家网公众号主页对话框回复关键词【MEMS动力学问题】获取保存、下载链接。

星标的内容=你在乎的内容，根据微信公众号推荐原则，没有在传感器专家网公众号主页【设为星标】，将无法及时获得传感器行业最新资讯！

声明：本文内容系作者个人观点，不代表传感器专家网观点或立场。更多观点，欢迎大家留言评论。

如有投稿爆料采访需求，请发邮箱：[e-mail]。

推荐阅读：