动态在线连续PECVD镀膜在异质结量产设备中的优势 | HAC会议

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适逢南昌大学光伏研究院成立十周年。该研究院从成立后不久即投入中国HAC光伏产业化技术研发热潮，与中国HAC光伏业一路走来，共谱辉煌。由此，我们特意举办非晶硅/晶体硅异质结光伏发展与国产化论坛暨南昌大学光伏研究院十周年纪念（以下简称”HAC会议“），与光伏界前辈先进和后生俊杰共同回顾总结HAC光伏技术发展得失，共议未来发展道路。

诚谢来自世界光伏技术和产业前沿的专家、学者们的积极贡献和参与！在此，我们将陆续给出HAC会议上所作的报告预告。今天，与大家分享的是昆山迅立光电设备有限公司技术专家所作的《动态在线连续PECVD镀膜在异质结量产设备中的优势》，以下是报告简介：

个人简介

邓勋明

博士，现任迅立光电设备有限公司董事长，美国Toledo大学终身教授。他于1985年通过李政道CUSPEA项目从中国科技大学考入芝加哥大学，获得博士学位后进入美国ECD公司从事高端真空镀膜设备的研发和制造，作为技术负责人带领团队设计制造了多条卷对卷PECVD/PVD真空镀膜生产线。他多年担任托莱多大学专利与产业化委员会主席。邓勋明与夫人徐立微博士创办了美国中西光电有限公司，美国迅力光能公司，迅力光能（昆山）有限公司，和昆山迅立光电设备有限公司。

报告题目

动态在线连续PECVD镀膜在异质结量产设备中的优势

报告摘要

异质结电池具有高效率、双面发电、低温度系数、低制作温度、薄片、无光衰等诸多优势。最大的瓶颈是昂贵的非晶硅PECVD镀膜设备。目前市面上常见的异质结镀膜设备均采用静态的镀膜方式，即在非晶硅成膜时载板保持静态，等离子体不断地开启和关闭。镀膜节拍时间（通常>150秒) 远远高于真正的镀膜时间 （<30秒），导致真空设备使用率降低从而设备昂贵（～7000万元/100MW）。另外，在静态镀膜方式中，最为关键的钝化层（第一个纳米的非晶硅镀膜）是在等离子体刚开启的不稳定状态下成膜，影响成膜质量和钝化效果。采用迅立光电研制开发的动态在线连续镀膜方式可以将节拍时间降低到30秒以下，从而将设备成本降低2/3（<2500万元/100MW）。由于动态镀膜中等离子体不间断，可以有效控制第一界面层的成膜质量和钝化效果，以及非晶硅在晶硅上的外延生长。迅立光电已经开发设计和制造了100MW异质结PECVD镀膜设备，初步结果显示可以实现良好的钝化效果。

单位介绍

昆山迅立光电设备有限公司从事高端真空镀膜设备的研发和制造。这些设备可广泛用于光伏、平板显示、硬膜涂层，锂电池及半导体行业功能性材料的镀膜和表面改性。光伏行业用的异质结HIT电池镀膜设备是公司目前主推的产品之一。

公司得到了江苏省科技成果转化专项资金项目的支持。公司团队获得了江苏省创新创业团队和国务院侨办重点华侨华人创业团队的荣誉。公司团队的核心成员中有国家“千人计划”特聘专家，江苏省双创人才，昆山市双创人才，美国博士，和李政道CUSPEA项目学者。核心团队有长期在美国从事真空镀膜设备的相关经历。公司网站http://www.xunlightchina.com.

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