【直播预告】光弹法在半导体晶圆应力测试中的应用
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主讲人：苏飞（北京航空航天大学）
课程简介
课程首先介绍了芯片应力测试的必要性，然后简单地介绍了目前常用的芯片中残余应力的测试方法，包括Stony曲率法、微拉曼光谱法、同步微焦点X射线衍射法、纳米压入法等。最后重点介绍了光弹性方法在芯片应力测试方面的原理、应用以及最新的发展动向，既介绍了该方法全场性、实时性、无损等优点， 也介绍了它的局限性和对策。
主讲人介绍
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