化工管路的泄漏检测
化工管路是化工生产中用来传输流体介质的各种管道，管件和阀门的总称，是化工生产不可缺少的组成部分。化工管路在安装和维修后必须进行泄漏检测，特别是有毒、易燃、易爆、易挥发的小分子量高危介质，如 SiH4（硅烷）、SiHCL3（三氯氢硅）、SiH2CL2（二氯氢硅）、H2 (氢气)等。
化工管路泄漏检测的重要性
对传输高危介质的管路，一般要求泄漏率要求小于 5E-6 atmcc/s，压力衰减法和气泡测试法由于精度的限制（只能到 5E-3 atmcc/s 左右），无法找到比较小的泄漏，容易在试运行阶段发生安全事故；这些较小的泄漏也很有可能在管壁材料长期受压疲劳后，变成较大的泄漏。
压力衰减法 也称为压降法或保压法，它使用干燥氮气或空气充注到管路内部，观察压力随时间的下降情况，通常用于测量管路的总漏率。假设管路的容积为 V，在 Δt时间内被检容器内的压力由 P1 降至 P2 ，那么管路的总漏率 Q 为：
Q=V(P1-P2 )/Δt
压力衰减法仅能表明泄漏的存在，不能指示泄漏点的具体位置，而且需要等待比较长的时间，测量精度比较低，受环境温度和湿度的影响很大。
气泡测试法 使用显示液体（如水、肥皂液、酒精、高沸点氟油）喷洒在化工管路上，当漏孔两侧存在压差时，气体就通过漏孔从高压侧向低压侧流动，漏孔处将会冒出一个个气泡，从而指示了漏孔的位置。
气泡测试方法是一种粗糙且主观性很高的泄漏检测方法，无法提供定量数据和可重复的结果，也无法找出 5E-3 atmcc/s 以下的微小泄漏。
美国、欧盟等国家和组织建立了示踪气体法泄漏检测方法标准体系。
《ASME 第 Ⅴ 卷第十章 泄漏试验》
《RCC-MMC7400 泄漏检测方法》
中国也已经制订了相对完善的泄漏检测国家标准和行业标准。
《GB/T12604.7-2014 无损检测 术语 泄漏检测》
《GB/T15823-2009 无损检测 氦泄漏检测方法》
《NB/T20003.8-2010 核电厂核岛机械设备无损检测 第 8 部分：泄漏检测》
安捷伦独有并已获专利的 SIPD（选择性离子泵检测）技术，能够检测出浓度低至 2 ppm 的氦气，相当于 5E-6 atmcc/s 泄漏速率，比传统的气泡测试法高出 1000 倍。
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完工清场 氦气作为惰性气体，可以直排大气，不会有环境和安全产生有任何影响。