洪明辉院士 | 飞秒激光微加工与纳米制造

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在西安光机所建所六十周年之际，第一届UltrafastX2021国际会议于4月14-15日在线上成功举办。为了进一步促进超快科学与技术领域的学习和交流，经报告专家允许，对部分精彩报告进行回放。此次发布的报告来自新加坡国立大学的洪明辉院士，报告题目为：飞秒激光微加工与纳米制造”。关注微信公众号，及时获取回放报告。

Plenary Talk

飞秒激光微加工与纳米制造

摘要：

本次报告从激光与材料相互作用的基本机理出发，系统讲授了激光微纳加工的典型应用和最新的科研进展，并分析了加工精度由微米向纳米尺度发展中激光精米加工技术所面临的三项关键问题。超快飞秒激光诱导的光热和光化学效应能够解决制备高质量微纳米结构的第一项关键问题---如何实现具有较小的热影响区域（heat-affected zone）。在实际的工业应用中，高速的激光加工仍然是一个巨大的挑战，而使用平行飞秒激光加工可以同时解决高分辨率和高速精密加工的问题。此外，目前的微纳加工技术结合原子力显微镜、近场扫描光学显微镜及微球体能够实现25 nm的分辨率，但是这种近场加工方式仅适用于表面非常光滑的样品。因此，使用飞秒激光实现远场的微纳米加工仍是一个巨大的挑战。我们最近的研究表明，通过双飞秒激光束照射，在远场和环境空气中的硅表面上，特征尺寸可以减小到约15 nm。通过对实验装置和激光加工参数的进一步微调，极有可能实现飞秒激光精密工程分辨率降至10纳米及以下。

报 告 专 家

洪明辉院士，新加坡国立大学电机及计算机工程系正教授，前沿研究及技术创新中心主任、光学科学及工程中心主任、Phaos Technology Pte. Ltd. 创始人。洪院士是激光光学领域的著名学者和领军人物，长期从事激光微纳加工及检测技术研究，在激光微制造、激光清洗、激光焊接及光学检测等领域开展国际领先水平的研究工作他作为共同作者出版书籍15部，拥有42项专利，超过500篇学术论文，受邀参加国际学术会议100余次并作相关报告。

洪院士是激光精密微加工国际会议（2001~2022），功能材料国际研讨会（2005年，2007年和2014年）的组织委员会成员，等离子体学和纳米技术应用国际研讨会主席（2006年），激光烧蚀会议主席（2009年）和亚太近场光学会议主席（2013年和2019年）。洪院士是Opto-Electronic Advance执行主编、Ultrafast Science顾问，国际期刊Light: Science andApplications、Scientific Reports、 Laser Micro/nanoengineering 等高水平学术期刊的编委。洪院士是新加坡工程院院士（SAEng）、美国光学学会（OSA）会士、国际光学工程学会（SPIE）会士、国际光子与激光工程学会（IAPLE）会士以及新加坡工程师学会（IES）会士。

Ultrafast Science， a science partner journal，中国科技期刊卓越行动计划高起点新刊 , 双月刊，由中国科学院主管、中国科学院西安光学精密机械研究所主办。

主编：龚旗煌 院士、赵卫 研究员

办刊宗旨：刊载超快科学研究领域的新理论、新技术、新进展、促进学术交流，推动成果转化，提高我国在该领域的科研水平和国际影响力。　

期刊报道范围为阿秒光源、阿秒物理、超快激光和应用、超快成像、超快光谱、超快诊断、超快材料和探测器、超快太赫兹光子、超快电子、超快化学物理等。

欢迎关注及使用期刊出版内容，感谢赐稿！  ISSN 2097-0331    EISSN 2765-8791CN 61-1519/O4

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