Nanomill 1040 微束定点离子减薄仪

一

设备简介 

微束定点离子减薄仪

Nanomill 1040

Nanomill微束定点离子减薄仪是革命性超低能量离子束制样设备，惰性气体离子源能够有效去除非晶层及离子注入问题且不产生再沉积现象。Nanomill具备离子成像功能，能够高精度定位并对样品进行精细修复，是FIB制备的样品后续精修的制样工具。

二

厂家型号

● Fischione Instruments公司    Nanomill 1040

三

技术指标

● 加速电压：50eV~2keV ；

● 研磨角度：-12°~30 °；

● 束斑直径：1μm@2000eV；

● 最大束流密度：1mA/cm2；

● 样品台最低温度：-170℃

四

主要附件

● 自动控温液氮冷台系统：满足对温度敏感性样品的要求；

● 二次电子探头：用于接收二次电子并成像

五

主要应用

● 高精度定位修复FIB制备的样品

六

样品要求

● 直径为3 mm的FIB制备样品