NANO TR 热反射法薄膜导热仪

一

设备简介 

热反射法薄膜导热仪

NANO TR 

热反射法薄膜导热仪是为纳米级薄膜应用量身定做的激光闪射法导热仪。热反射方法（Thermo-Reflectance）基于超高速激光闪射系统，可测量基片上金属、陶瓷、聚合物薄膜的热物性参数。Nano TR具有先进的信号处理技术，可以进行高速的测量。测试过程中，一束脉冲宽度1 ns的激光脉冲被周期性（间隔20 μs）地照射到样品的加热面上，使用探测激光记录检测面相应的温度响应。通过在极短时间内进行大量的重复测试，对重复信号进行累加，可以获得优异的信噪比。通过软件，仪器可以方便地在 RF 与 FF 两种测试模式之间进行切换，以适应于不同的基片情况（透明/不透明）。

二

生产厂商

● 德国耐驰NETZSCH

三

技术指标

● 温度范围：室温~300 ℃；

● 样品薄膜厚度：

   RF：金属 1 μm~20 μm，

          陶瓷 300 nm~5 μm，

          树脂 30 nm~2 μm；

   FF：＞1 μm；

● 基体尺寸：10~20 mm，方形；厚度：≤1 mm；

● 热扩散系数：0.01~1000 mm2/s；

● 热扩散系数准确度：±6.2%（CRM 5808，RF模式，400 nm Mo）；

● 热扩散系数重复性：±5%；

● 主激光参数：激光波长1550 nm；脉冲宽度1 ns；光斑直径100 μm；

● 检测激光参数：激光波长785 nm；脉冲宽度为连续状态；光斑直径50 μm；

● 提供带有AIST 证书的薄膜标样

四

主要应用

● 可测量基片上金属、陶瓷、聚合物薄膜的热物性参数，如热扩散系数、热导率、吸热系数和界面热阻