JEM-ARM200F 球差校正透射电子显微镜

一

设备简介 

球差校正透射电子显微镜

JEM-ARM200F

JEM-ARM200F球差校正透射电子显微镜主要用于材料的高分辨形貌观察和微区的原子结构及成分分析。可以在极短时间内得到原子级分辨率的图像观察和成分分析，结合高灵敏度的能谱仪可以实现快速的成分分析。

二

厂家型号

● 日本电子株式会社 JEM-ARM200F

三

技术指标

● 冷场发射电子枪，带probe球差校正器；

● 加速电压：80kV-200kV;

● 束流/束斑尺寸：1nA @ 0.19nm；

● 分辨率：

   点分辨率0.19nm@200KV， 

   STEM分辨率：0.078nm@200KV，

   0.111nm@80KV， 0.136nm@60KV；

● CMOS数字化照相系统：

   最大像素4096×4096，像素尺寸14×14μm2

四

主要附件

● 一体化STEM系统：

STEM分辨率0.078nm@200KV，配备高角环形暗场探头（HAADF）和明场/暗场探头（BF/DF）、ABF探测器和背散射（BEI）探测器各1套，可快速得到明场BF像，STEM能拍摄暗场DF像和高角环形暗场HAADF像，并可以得到专门用于轻元素测量的ABF环形明场像；

● 双探头能谱仪（EDS）：有效检测面积可达200mm2，能量分辨率优于133eV，立体角为1.7 srad，探测元素分析范围为5B ~ 92U;

● EELS能量损失谱仪：能量分辨率0.3eV，配STEM BF/DF，在同一用户界面下支持STEM及EELS配合，进行有漂移校正的线扫描和面扫描定性/定量分析。二者同时、连续采集数据，实时显示，并可进行事后分析；

● Hysitron PI-95透射电镜原位力学性能测试平台：用于在透射电镜内直接观察纳米力学行为，可输出量化的力-位移曲线并实时对应测试中记录的材料受应力变形的TEM影像视频。配有400℃高温台：MEMS加热系统可以对样样品加热至400摄氏度，并且极小的热漂可以保证样品在高温下仍可以拍摄得到高分辨率图像

五

主要应用

对各种材料样品进行形貌（如物相分布、粒径、分散性等）观察；分析材料晶体结构并进行纳米尺度的微结构分析；配合能谱仪及能量损失谱仪对样品进行成分及化学价态分析；选择特定设计的样品台进行原位动态实验等：

1）普通（高分辨）透射成像模式：可以用来观察样品的形貌和物相分布，高分辨像可用于确定材料的晶体结构，观测相分布、晶体缺陷及界面结构等;

2）电子衍射模式：主要用于物相、晶体结构研究，可进行选区电子衍射、会聚束电子衍射等;

3）扫描透射模式：主要用于形貌及结构的观察与分析。可快速得到明场BF像，STEM能拍摄暗场DF像和高角环形暗场HAADF像，并可以得到专门用于轻元素测量的ABF环形明场像；

4）EDS能谱：主要用于材料的化学成分的定性、定量分析，可选择性对样品进行点测、线扫、面分布分析；

5）EELS电子能量损失谱：用于材料的成分分析，对于轻元素（B、C、N、O等）的分析更为有效，可以和能谱相互补充，同时可以对元素的价态进行检测和分析；

6）Hysitron PI-95透射电镜专用纳米压痕仪，用于在透射电镜内直接观察纳米力学行为，可输出量化的力-位移曲线并实时对应测试中记录的材料受应力变形的TEM影像视频

六

样品要求

1) 样品无磁性（磁铁吸不起来）;

2) 粉末样品表面清洁无污染物、电子束辐照稳定不分解；

3) 块体样品需离子减薄或FIB制样处理