Verios 5 UC 超高分辨率场发射扫描电子显微镜
一
设备简介
超高分辨率场发射扫描电子显微镜
Verios 5 UC
Verios 5 UC 扫描电镜为Thermo Scientific公司最新的配备有单色器的极高分辨率场发射扫描电镜，在1-30keV范围内具备亚纳米级分辨率（0.6nm) 以及增强的对比度，应用在尖端半导体制造和材料科学中，能满足材料高分辨率微纳米尺度表面形貌表征和元素分析的需要。该款电镜具备等离子清洗（Plasma cleaner）功能，可以清理小分子有机物以及在电子束轰击下产生的积碳污染物。此外，电镜配备了多个不同用途的检测探头，包括镜筒内3个超高分辨的电子探头（TLD、ICD、MD）、插入式背散射探头DBS和样品仓内二次电子探头ETD，具有丰富的成像效果。
另配备有EDAX 能谱仪Octane Elect Super. 该EDS系统是一款增强型能量色散谱平台，融入了新型硅漂移探测器 (SDD) 技术和高速电子元件，在最优值下具有十分出色的分辨率和较高的通量，拥有卓越的低能量灵敏度，可实现轻元素检测和低电压 (kV) 微量分析。
配备的Hikari Super是一款高性能全方位EBSD探测器，集高速，高灵敏度，高精度于一身，100pA工作条件下，达到99%标定成功率，取向精度优于0.1度，数据采集标定速度可达1400点/秒。磷屏针对高速、高灵敏度的采集操作进行了专门的优化设计。
二
厂家型号
扫描电镜：Thermo Scientific/Verios 5 UC;
能谱仪：EDAX / Octane Elect Super;
EBSD相机：EDAX / Hikari Super
三
技术指标
扫描电镜：
● 二次电子像分辨率：
0.6 nm @ 15kV–2kV范围内；
0.7 nm @1 kV；
1.0nm @0.5KV
● 放大倍率：
范围20～1,000,000倍（根据加速电压和工作距离的改变，放大倍数自动校准）。
● 加速电压：50V～30 kV；着陆电压最低达20V;
● 拥有电子束减速模式，-50V至-4KV
实时能谱仪（EDS）：
● 元素分析范围：Be4～Am95；
● 能量分辨率：Mn-Kα≥127 eV；
● 最大输入计数率≥200万CPS，最大输出计数率≥85万CPS；
● 在0~200kcps范围内的分辨率稳定性＞90%
电子背散射衍射仪（EBSD）：
● 扫描和指标化速度：1400点/秒;
● 像素分辨率：640（H）×480（V）;
● 以Ni为标样，在5nA条件下能保证99%的标定成功率；
● 取向测量精度：优于0.1度；
● 后处理软件包含有且不限于如下功能：
（1）晶粒度统计；
（2）晶界分析；
（3）物相鉴定；
（4）极图和反极图分析；
（5）可自动剥离形变和再结晶区
四
主要附件
Plasma cleaner：等离子清洗，用来清理小分子有机物以及在电子束轰击下产生的积碳污染物。
Beam deceleration:电子束减速，在最小HV极限下扩展电子能范围，提高显微镜在低加速电压下的分辨率。
CCD：红外全景相机，用来观察标品室内样品及样品台的位置；
Nav-Cam：舱内导航相机，可以快速、简便地获得良好的导航图像并定点移动。
ETD：Everhart Thornley Detector，是一种闪烁体光倍增型探测器，它收集主光束与样品表面相互作用产生的电子。
TLD：Through Lens Detector，主要用于模式2:浸没式的高分辨率成像。
ICD：In-Column Detector，当电子束减速模式关闭时，ICD检测散射到电子束轴附近的背散射电子，它提供高z-对比信号。当电子束减速模式打开时，检测信号包括二次电子及背散射电子。
DBS：Directional Backscattered
Detector，采用角度(ABS)或同心(CBS)分割的检测器二极管。两种变体的控制和设置是相同的。它安装在一个可伸缩臂上，可插入透镜和样品之间，并停放在极片上以减少振动。
EDS：Octane Elect Super能谱仪是一款增强型能量色散谱平台，融入了新型硅漂移探测器 (SDD) 技术和高速电子元件，可实现轻元素检测和低电压 (kV) 微量分析。
EBSD：Hikari Super电子背散射衍射仪可进行微织构分析、微取向和晶粒取向分布测量，将晶体结构及取向信息与微观组织形貌相对应
五
主要应用
● 表面微观形貌表征；
● 元素定性和半定量分析，可以实现点、线和面分析；
● 电子背散射衍射EBSD分析
六
送样要求
●块体、片状、薄膜类材料尺寸小于1 cm×1 cm×0.5 cm；粉末样品大于10mg；
● 块体、片状、薄膜样品请标注测试面，粉末样不能测试线扫；
● 含水样品测试时均需要干燥；
● 1-4号元素不能测试能谱，B、C、N、O、F等超轻元素能谱测试不准，望知晓；
● 样品不具有磁性和铁磁性；
● 若需要进行样品前处理（喷金、喷碳、抛光等）请提前联系我们，我们也可满足制样需求