Prisma E 钨灯丝扫描电子显微镜

一

设备简介 

钨灯丝扫描电子显微镜

Prisma E

钨灯丝扫描电镜可分别在高、低真空和环境扫描真空模式下使用，具备分析常规测试样品及不导电、含气、含水等非常规测试样品。具有高度灵活性及样品的宽泛适用性，可进行直观的形貌观察，是功能强大且齐全的通用实验仪器之一。同时，这台扫描电镜还配备了牛津能谱仪UltimMax65和布鲁克纳米压痕仪PI89，在实现形貌表征的基础上，增加了元素分析和微纳米尺度材料硬度、模量测试的功能，使仪器应用更为广泛。

二

厂家型号

● Thermo Fisher / Prisma E

三

技术指标

● 分辨率：

高真空模式：30 kV时≤3.0 nm；3 kV时≤8.0 nm；

低真空模式：30 kV时≤3.0 nm；3 kV时≤10.0 nm；

超低真空模式 (ESEM)：30 kV时≤3.0nm；

背散射电子（BSE）像：30 kV时≤4.0nm；

放大倍率：≤180000倍；

有效倍率：≤30000倍

● 真空度：

低真空模式：10 to 130 Pa；

环扫真空模式：10 to 2700 Pa（H2O）

四

主要附件

● 能谱仪（EDS）

型号：Oxford UltimMax65

技术指标：

（1）元素分析范围：B～U；

（2）分辨率：Mn-Kα≤127 eV；

（3）超清元素分辨率：F-Kα≤65eV；C-Kα≤56eV

● 纳米压痕仪

型号：Bruker PI89

技术指标：

（1）小载荷模式最大载荷：≥ 10mN；大载荷模式：＞500 mN；

（2）纵向载荷分辨率（小载荷模式）：≤3nN；

（3）仪器测量的载荷背景噪音（39kHz下测量）：<400 nN；

（4）最大压痕深度（小载荷模式）：≥5μm；大载荷模式位移：＞150 um；

（5）位移分辨率：≤0.02nm；

（6）最高加热温度：800℃ ；

（7）加载方式: 压转拉模块实现拉伸试验，平压头实现柱状样品压缩试验，原位拉伸EBSD试验；

（8）X方向可移动范围：12mm；Z方向可移动范围：29mm；X/Y/Z 定位精度：≤1nm

五

主要应用

● 表面微观形貌表征；

● 元素定性和半定量分析；

● 微纳米尺度材料的硬度与模量测试

六

样品要求

● 不含磁性和不具有铁磁性；

● 重量不超过500g；

● 样品直径不超过10cm，高度不超过5cm