中国造光刻机难在哪儿？| 大话集成电路06

大话集成电路：中国“芯”的涅槃重生

光刻机整机与分系统汇聚了光学、精密机械、控制、材料等众多领域大量的顶尖技术，并且这些技术还需要做到工程极限。

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