用于晶圆和掩膜检测的运动控制

MKS 提供了多种高性能的、适用于晶圆检测工具和其他运动控制应用的空气轴承位移台 , 经验丰富的 MKS/Newport 应用工程师与 OEM 客户合作，为正在开发的半导体制造过程提供专门的自动化运动控制解决方案，下文描述这些系统中用于提高精度和动态性能的技术。

IDL 工业精密定位平台是为高动态性能而开发的，其标准版本可在构建 XY 系统时加快响应速度。该平台采用铝结构，结合了机械轴承、直线电机、直线编码器和集成电缆管理，以提供可靠和准确的定位精度。XY 堆叠的 IDL 运动平台用于自动光学检测系统的优势是显而易见的，有多种行程组合可选。

 IDL 工业精密定位平台

CeraMech 碳化硅陶瓷位移台是一种高性价比 XY 位移台，其采用陶瓷结构和机械轴承，无需使用空气轴承导轨即可实现优异的性能。陶瓷平台的刚性和稳定性是铝合金平台的 3 倍。MKS/Newport 开发了先进的制造技术来确保表面的平整度和稳定性，可以实现陶瓷位移台高动态性能的扫描以及步进应用。

CeraMech XY 碳化硅陶瓷位移台

HybrYX 混合空气轴承 - 机械轴承XY位移台，是一种成本相对较低、单平面、空气轴承平台， 非常适用于半导体晶圆或面板检测系统，以及许多其他需要超低速度波动和动态跟踪误差（即任意时间点当前位置与理想或理论位置设定值之间的差值）的扫描应用。平台的Z向、倾斜、俯仰、旋转角度调节选项可以允许精调晶圆或面板，以用于复杂的XY运动。HybrYX 系统运行可靠且寿命长，非常适合于高占空比环境如晶圆检测应用等。例如，HybrYX 300 是一款高性价比的混合滚珠轴承和空气轴承平台，针对晶圆片检测优化，扫描速度高达1m/s, 速度稳定性小于 0.1%；超过 300mm 行程内的平面度为±250 nm，XY方向的定位精度为 ±250 nm。

HybrYX 混合空气轴承 XY 位移台

DynamYX 系列位移台具有商用产品中高的水平定位性能，专为 300 mm 晶圆加工和检测应用而设计，大量使用陶瓷材料来提供卓越的刚性结构稳定性，且产品设计很轻薄，适合用于OEM 应用。

DynamYX 系列位移台

DynamYX 掩膜定位空气轴承位移台设计用于掩膜板的检测和修复应用。DynamYX RS 级位移台比传统的开放式解决方案封装要小得多，并且有一个全开的孔径，可灵活地集成光学组件并易于维修服务。其前端采用一个刚性且稳定的陶瓷支架，以确保在掩膜检测和/或修复过程中的高度稳定和清洁。

DynamYX 掩膜定位位移台

DynamYX 中DATUM系列位移台也适用于晶圆片检测，他们对晶圆的清洁度要求符合ISO 2级标准，扫描速度高达 1 m/s，同时满足以下指标：动态立体 XYZ 抖动误差 ±30 nm, 当晶圆直径 300 mm 内平面度可达 ±150nm，XY 方向的定位精度达 ±100 nm。 

如果激光光源与工具分开放置，运动控制器件也用于控制光束传输，例如，MKS/Newport 的快速转向镜 (FSM) 使用反馈回路和电动镜架来控制激光束的位置。在研发应用中，这可用于两个独立的气浮平台之间的光束稳定。在制造应用中，当激光源与工具相距较远时，FSM可用于潜望镜配置，光源上的反射镜 ( 用于角度校正 ) 和工具上的反射镜 ( 用于位置校正 ) 可以控制进入工具光束的所有维度。

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