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第10000片晶圆下线!中芯集成12英寸线量产

■ 信息来源| 绍兴发布、集微网等

6月17日,中芯集成三期12英寸中试线量产暨第10000片晶圆下线仪式举行。

图片来源:绍兴发布据此前中芯集成发布的公告,中芯集成子公司中芯先锋与绍兴滨海新区管理委员会签订《落户协议》,计划在三期12英寸中试项目的基础上,实施量产项目,预计在未来两到三年内合计形成投资222亿元、10万片/月产能规模的中芯绍兴三期12英寸数模混合集成电路芯片制造项目。6月1日,中芯集成公告称,其及子公司中芯先锋与绍兴滨海新区芯瑞基金签订《中芯先锋集成电路制造(绍兴)有限公司之投资协议》,投资建设中芯绍兴三期12英寸特色工艺晶圆制造中试线项目(计划今年完成建设),主要生产IGBT、SJ等功率芯片,HVIC(BCD)等功率驱动芯片。中芯绍兴三期12英寸特色工艺晶圆制造中试线项目总投资42亿元,其中注册资本金为30亿元,用于建设一条集研发和月产1万片12寸集成电路特色工艺晶圆小规模工程化、国产验证及生产验证的中试实验线。项目计划于2023年完成中试线建设,并尽快形成12英寸功率半导体器件晶圆制程的技术储备、承接8英寸至12英寸的技术转移和小规模试产。绍兴发布消息称,目前绍兴已形成较为完备的集成电路全产业链,2022年产业规模已突破500亿元。



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