鑫华半导体1500吨硅基电子特气项目开工

■ 信息来源 | 鑫华半导体（本文由“SAGSI硅产业研究”整理后发布，转载请注明出处）

8月22日上午7点20分，在一片喜庆的礼炮声中，鑫华半导体1500吨硅基电子特气项目开工仪式隆重举行。

开工仪式现场从硅片制造、光刻、沉积到刻蚀、离子注入，几乎每一个环节都离不开电子特气的身影。电子特气被誉为电子工业的“血液”，是半导体、微电子、集成电路等电子信息产业的关键原材料。鑫华半导体依托自身闭环成套化的电子级多晶硅工艺生产技术，在生产电子级多晶硅的同时得到三氯氢硅，经过特气充装站过滤得到高纯电子级三氯氢硅，大幅降低生产制造成本。与此同时，鑫华半导体拥有高纯材料研发、生产及品质管控的丰富经验，大大缩短硅基电子特气新品研发及制造工程建设周期，加速半导体材料领域的战略布局。硅基电子特气产品

此项目占地面积约500平方米，将于2023年11月进行系统调试安装，12月底完成试生产。项目建成后将进一步提高原料利用率，对推动国产化电子特气进程、减少进口依赖有重要意义。

未来，鑫华半导体将专注于高端气体的开发研究，打造规模化产业集群，致力于成为高纯硅基电子特气业务领军企业。

企业简介

江苏鑫华半导体科技股份有限公司于2015年成立于徐州经开区，由协鑫集团控股的江苏中能硅业科技发展有限公司与国家集成电路产业投资基金股份有限公司共同投资成立。其主要业务为半导体产业用电子级多晶硅研发、生产和销售，是一家实现电子级多晶硅量产且全尺寸覆盖的企业。作为国内领先的电子级多晶硅制造企业，鑫华半导体依托自身在硅材料方面的综合优势，不断攻克技术难关，突破技术重围，完成超过600项核心技术和设备的改进与创新，形成了具有完全自主知识产权的电子级多晶硅生产工艺。鑫华半导体目前拥有国内规模最大的电子级多晶硅生产线，技术水平与产品质量跻身行业前列，实现各种尺寸晶圆全覆盖应用，持续为国内外客户提供多种规格的优质高纯电子级多晶硅产品。

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