■ 信息来源 | CINNO（本文由“SAGSI硅产业研究”整理后发布，转载请注明出处）
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北京国化新材料技术研究院联合长三角太阳能光伏技术创新中心、中欧光伏双碳领跑倡议组织（中关村寰能太阳能跟踪系统产业联盟）、硅产业绿色发展联盟等单位拟于2023年10月30日-11月1日在江苏无锡举办“2023高纯石英材料技术及应用论坛”。
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10月16日，山东有研艾斯12英寸集成电路用大硅片产业化项目通线仪式在德州天衢新区举行，该项目一期投资25亿元，达产后可实现12英寸抛光片月产10万片，是中国有研布局的重点项目，也是山东省内第一条12英寸集成电路用大硅片生产线。12英寸硅片的面积是8英寸的2.25倍，可使用率是8英寸的2.5倍左右，单片可产出的芯片数量增加，经济效益明显，随着集成电路制程和工艺的发展，硅片趋向大尺寸化和制程精细化，12英寸硅片为当前及未来较长时间内的主流产品。山东有研艾斯总经理闫志瑞举例介绍，硅片制作程序非常复杂，有线切割、倒角、研磨等40-50道工序，对平整度要求极高，硅片直径300毫米，而头发直径只有100微米，但最终硅片出厂时最高与最低的平整度误差不能超过0.1微米。据悉，12英寸硅片技术参数要求比8英寸更高，各工艺环节需要长期积累，其中单晶工艺是最为核心的技术，其决定了硅片尺寸、电阻率、纯度、氧含量、位错、晶体缺陷，山东有研艾斯攻克了单晶微缺陷、硅片几何尺寸、硅片表面沾污等关键技术指标，已在多家国内外知名集成电路制造企业开展产品验证。硅片是集成电路的基石，有研先后在德州投资近100亿元在德州建设了7个项目，8英寸硅片、高纯溅射靶材等4个项目已建成投产。8月18日，刻蚀设备用硅材料及硅片扩产项目开工建设。此次通线量产的12英寸大硅片项目，总投资62亿元，于2022年4月开工建设，2023年6月设备入场。（详见：山东有研艾斯12英寸大硅片项目首台设备搬入！）目前12英寸是全世界直径最大的主流产品，硅片的直径越大，可利用的面积比例越高，每一个集成块的成本就越低，追根到底是一个成本的降低，该项目同样也是山东省唯一一家制作12英寸硅片的厂家，全部达产后将形成360万片/年大硅片的生产规模，彻底改变我国依赖进口的局面。
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