我国成功开发出高精度石英谐振MEMS加速度计

■ 信息来源 | 科技日报（本文由“SAGSI硅基新材料”整理后发布，转载请注明出处）

日前，中国微米纳米技术学会组织召开“高精度石英谐振MEMS加速度计”项目（以下简称项目）科技成果评价会。该项目由中国工程院院士蒋庄德、西安交通大学教授赵玉龙团队完成。

专家组一致同意项目通过科技成果评价，并认为该项目为下一代惯性级加速度计的发展与应用奠定了基础。

此次会议专家组由中国工程院院士邹汝平，中国航天第九研究院第十六研究所研究员、副所长王建青，西北工业大学教授苑伟政，中国船舶集团有限公司第七〇五研究所研究员、总工程师史小锋，中航工业西安飞行自动控制研究所研究员、副总工程师杨卫民组成。

据悉，项目突破了一体式、双对置、差动式石英谐振MEMS加速度计敏感结构等关键技术，成功开发出高精度石英谐振MEMS加速度计，为下一代惯性级加速度计的发展与应用奠定了基础。项目成果已为惯性导航系统、惯性测量单元、微型定位导航授时系统的开发提供了有力支撑，满足了航空、航天、兵器等领域装备对高精度、小型化、低成本加速度计的迫切需求，具有显著的社会和经济效益。项目团队成员包括西安交通大学教授刘红忠、副教授李村、助理研究员李波和白冰等。

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