佛山市副市长陈新文到广东微纳院调研

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6月28日下午，佛山市副市长陈新文一行到广东中科半导体微纳制造技术研究院（以下简称“研究院”）调研。

在研究院成果展厅，陈新文副市长一行听取了研究院整体发展规划、建设成效、下一步工作计划等汇报，并深入调研半导体中试平台建设情况。

图 陈新文副市长与王辉常务副院长进行交流

当前研究院着力打造“半导体微纳加工、半导体材料外延与表征”两大中试验证平台，已采购包括半导体材料外延生长、芯片加工、器件封装等关键核心设备超200台，面向光电子器件、功率器件、射频器件、传感器件、生物芯片等领域，开展8英寸氮化镓外延材料生长、芯片加工、封装测试等全流程中试服务，累计服务企业、高校院所超100家。

陈新文副市长对研究院中试平台建设成效表示肯定，希望研究院贯彻佛山中试产业高质量发展大会精神，充分发挥中试平台优势，加速企业科技成果转化。接下来，研究院将继续提升发展硬实力，加强平台中试能力建设，逐步建立起多套高水平制作工艺，同时强化软实力建设，壮大中试服务团队，提供多门类、多工艺服务。

图 微纳加工平台主任赵德胜介绍MEMS智能传感加工线情况