立足佛山服务湾区！广东微纳院携中试平台亮相深圳国际半导体展

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6月26日-28日，SEMI-e第六届深圳国际半导体技术暨应用展览会在深圳国际会展中心举行，展会汇聚815家展商，展期3天总到会观众超过79,586人次。我院作为专业半导体公共服务平台，携半导体微纳加工中试平台、半导体材料外延与表征中试平台、佛山半导体产业园亮相展会。

图 研究院工艺工程师与企业进行交流

“目前中试平台可以提供什么服务？”“你们有哪些工艺设备？”展位现场，研究院秀出“看家本领”，吸引众多参展观众前来咨询和交流。其中，半导体微纳加工中试平台建有8英寸硅晶圆及8英寸(向下兼容)氮化镓(GaN)晶圆加工线，拥有超百台芯片加工设备，涵盖光刻、镀膜、刻蚀、掺杂、量测等全流程工艺；半导体材料外延与表征中试平台专注于第三代半导体材料外延生长技术，拥有10余套材料外延生长的MOCVD设备和20余套满足各类材料/器件检测的测试设备，具备8英寸硅晶圆及硅基氮化镓晶圆切割加工、大功率LED陶瓷封装等能力；佛山半导体产业园以中试平台为基础，建设6万平方米专业化半导体产业载体，其中洁净载体3.2万平方米，资质配套齐全，让半导体项目实现“入驻即生产”。

图 研究院中试平台工艺团队

本次参展，研究院不仅展示了自身在半导体领域的专业能力，更与众多业内同行进行了深入的交流，进一步深化在粤港澳大湾区的服务布局，为打造国内有影响力的半导体工程化创新平台扎实基础。