【干货】深入解析XPS的表面分析和深度分析技术

来源 | 百度文库

电子能谱学中的主要技术均具有非常灵敏的表面性，是表面分析的主要工具。

根据激发离子以及出射离子的性质，可以分为以下几种技术： 紫外光电子能谱（UPS） 、X射线光电子能谱（XPS） 、俄歇电子能谱（AES） 、离子散射谱（ISS）、电子能量损失谱（EELS）。

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