元禄光电超大尺寸钙钛矿高速激光刻蚀成套设备发布
信息来源:中南财经
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8月13日,元禄光电在武汉正式发布1200mm×2400mm钙钛矿高速激光刻蚀成套设备,为解决钙钛矿大面积制备的产业化瓶颈提供了新方案。
图源元禄光电
钙钛矿太阳能电池被认为是下一代光伏路线的“终极答案”,钙钛矿工艺流程包括薄膜制备、激光刻蚀、封装三个环节。作为钙钛矿太阳能电池研发与规模化量产的关键环节,激光刻蚀的高精度调控对大尺寸钙钛矿电池组件量产至关重要。
据介绍,元禄光电凭借自身在钙钛矿光伏行业多年积累的激光技术与精密装备技术优势,联合华中科技大学一同研发打造了先进的大幅面钙钛矿高速激光刻蚀成套设备,布局了多项发明和新型实用技术专利,拓展了激光光刻局域成型方法。
元禄光电联合华中科技大学研发的“20振镜头大幅面钙钛矿高速激光刻蚀成套设备”,是目前市场上极少数能够生产1200mm×2400mm超大尺寸钙钛矿太阳能电池组件的激光刻蚀设备。此套设备深度应用了飞秒激光光刻局域成型技术,精准解决了高精度界面调控的难题,实现高效大面积钙钛矿电池制造的快速飞跃。
据了解,该设备采用高精度相机及软件算法实现高精度划线的精准控制,整体精度10um以及独特的机械设计理念,平台动、膜面划,实现设备高稳定性,同时单设备20路光束,加工时间30秒,实现更高产能优势。
元禄光电董事长胡兵表示,此次发布的设备由元禄光电与华中科技大学联合研发,是目前市场上极少数能生产超大尺寸钙钛矿太阳能电池组件的激光刻蚀设备。
胡兵介绍,该设备通过飞秒激光光刻局域成型技术,在保证刻蚀节拍的前提下,可精准实现多次定位刻蚀,解决了高精度界面调控难题,为大面积钙钛矿电池的高效制造带来可能。据了解,目前该技术已通过专家评价认定。推荐阅读