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聚·学术 | 浙大高分子:满足下一代集成电路节点要求的嵌段共聚物定向组装技术

nm动态随机存储器和集成电路五种潜在的技术方案。其中,由于嵌段共聚物定向组装技术可以高效利用目前支配半导体产业的光刻工艺,并使用成本极低的有机共聚物而备受工业界青睐。
2017年2月13日