当初一说要买这台设备，公司股价涨了20%！如今这台设备真的来了……

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还记得那家说买个设备股价就涨了20%的公司吗？对，就是那个买光刻机的，时隔不到4个月，他们在1月19日把光刻机搬进了高端光刻胶实验室。

晶瑞股份1月19日晚间公告，公司顺利购得ASML（阿斯麦）XT 1900 Gi型光刻机一台，并于当日运抵苏州，搬入公司高端光刻胶研发实验室。

ASML XT 1900 Gi光刻机搬入是怎样的场景？

动用了气垫车！这台光刻机的重要性可想而知了。

“浸没式光刻机是高端光刻胶研发的关键设备，尽管投入巨大，晶瑞股份还是下定决心购买。”对于购置该光刻机，晶瑞股份董事长吴天舒在现场讲话中介绍，为解决集成电路制造领域关键材料“卡脖子”问题，加速高端ArF光刻胶研发，建立研发平台，公司后续还将购置其他相关辅助设备，并尽早完成设备的安装调试，投入使用。

晶瑞股份购置这台光刻机花了多少钱？晶瑞股份于2020年9月29日披露，为开展集成电路制造用高端光刻胶研发项目，公司拟斥资1102.5万美元购买一台ASML（阿斯麦）光刻机。

对此，有业内人士告诉记者，一台光刻机就花了1000多万美元，还要购置涂布显影机、缺陷检验设备、膜厚检测机台等一系列相关辅助设备，还要建设洁净室……ArF光刻胶研发要大几亿元的投入。

“在中国集成电路产业不断发展壮大、制程不断提升的情况下，晶瑞股份布局ArF光刻胶，既是担当也是挑战。”晶瑞股份表示，尽管中国集成电路产业整体实力显著提升，但受制于我国光刻胶技术发展水平，目前适用于6英寸硅片的g线、i线光刻胶的自给率约为10%，适用于8英寸硅片的KrF光刻胶的自给率不足5%，而用于12寸硅片的ArF光刻胶基本依靠进口，光刻胶国产化依然任重道远。

据介绍，随着芯片跨入纳米级，半导体光刻胶的波长也在不断缩短，已经由紫外宽谱逐步发展到g线（436nm）、i线（365nm）、KrF（248nm）、ArF（193nm）、ArF Immersion 浸润式，以及最先进的EUV（<13.5nm）线水平。光刻胶波长越短，研发难度越大，适应制程越先进。目前从全球来看，KrF和ArF的市场份额最大。

“预计上半年完成安装工程，我们期望3年内完成ArF光刻胶产品新工艺相关技术参数及产品定型，并实现规模化生产。”展望未来，吴天舒告诉记者，实现ArF光刻胶产业化，中国的光刻胶就基本上可以满足45nm至28nm制程技术和工艺的要求。

在晶瑞股份于2020年9月29日披露购置光刻机后，公司股价早盘高开后强势拉升至涨停，收盘涨幅达19.99%。

编辑：邱江

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