科创中国│登陆科创板如虎添翼，芯源微生意兴隆忙扩产

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展厅改成了车间，会议室改成了办公室，工位上年轻人坐得满满当当……近日，《科创中国》走进半导体装备公司芯源微，感受科创新力量。秋日暖阳下，这个公司的每一个角落，都洋溢着欣欣向荣之气息。

“不好意思，地方有点挤，最近生意比较好。”公司董事长宗润福边带记者参观，边凡尔赛式地表达歉意，“生意兴隆”的喜悦却挂在了眉梢。

缺地方不是问题，只要生意足够好。在浑河的南岸，桃仙机场的脚下，一片厂房正在拔地而起，那是芯源微的新生产基地。“涂胶显影设备的市场就高达200亿元，芯源微2020年营收才3亿元，更不要说芯源微还有单片清洗机、喷胶机等设备……”当梦想照进现实，宗润福说，他们在数着日子，盼新生产基地竣工投入使用。

科创板“红利”多

在参观芯源微的过程中，不管是在会议室，还是在展厅、车间，芯源微工作人员都在因“地方有点挤”表达着歉意。记者注意到，芯源微的展厅就是老生产大楼一楼的小门厅，会议室挤得勉强落下脚。

“订单饱满、人员激增，我们地方真的不够用啊。”芯源微董事长宗润福告诉记者，由于上市后业务量激增，人员急速扩张，只能把大的会议室改成了办公室，展厅也改成了车间。现在，不管是工位还是车间，依然都不能满足生产需要，公司在加紧建设新的生产基地。

芯源微于2019年12月登陆了科创板。彼时，宗润福接受上证报专访时表示：我有一个梦想，打造一家世界级的中国半导体装备公司。“现在，我和芯源微离梦想又进了一步。”寒暄落座，回忆起上市事宜，宗润福笑呵呵的告诉记者，科创板给芯源微带来了资金、规范性、人才等等，让公司“如虎添翼”，开启了加速度的发展。

对于科创板“红利”，宗润福如数家珍的介绍，科创板上市募资解决了公司发展的资金压力，使得公司能够赶上风口，大力进行扩产和加强新产品研发。其次，上市使得公司在生产、管理、财务上都更加规范，提升了公司在产业圈的品牌和美誉度，公司的供应链管理、销售管理都更加顺畅。第三，科创板给公司带来了人才红利，现在公司吸引了一大批具有竞争力的人才，公司队伍稳定，大家干劲十足。

记者了解到，上市以来，芯源微的半导体设备在前道制程领域取得了重大突破。具体来看，公司的涂胶显影设备打破国外垄断，在前道晶圆加工环节实现了小批量出货；公司生产的集成电路前道晶圆加工领域用单片式清洗机 Spin Scrubber 已经达到国际先进水平，在国内多个重要客户处获得批量重复订单。重大突破下，公司业绩也是飞跃式增长，公司今年上半年净利润同比增长464.05%。

宗润福尤其赞赏科创板的股权激励制度。“芯源微上市后进行了2轮股权激励，有86位核心技术人员获得了股权期权，这使得公司不仅稳定了队伍，还吸引了更多的人才，为公司的长远发展奠定了坚实基础。”宗润福介绍，一个工作三、五年的工程师，在芯源微的年收入大概二三十万元，芯源微再给予同等的股权激励，那其年收入相当于五六十万。沈阳房价、生活成本又相对较低，这样的“工资+股权激励”结构就比较具有吸引力。

半导体设备“前景”大

“半导体设备确实是中国制造业的一个短板，一旦形成突破，将是很大的成绩与突飞猛进的发展。”对于芯源微所在赛道，宗润福如此概括。

半导体设备被视为制造业皇冠上的明珠，尤其是与光刻相关的前道设备更是“难中之难”。“涂胶显影设备是与光刻机联机共同工作的，是半导体生产线上最关键的工艺设备之一。”宗润福以涂胶显影设备为例介绍，在这个领域，日本东电电子占据了90%的市场份额，年销售额近200亿元；这也就是说，对国产半导体前道设备公司来说，其所在赛道的技术门槛高、市场天花板也足够高，未来的发展空间巨大。

“涂胶显影设备的市场规模就200多亿元，芯源微2020年营收才3亿元，更不要说芯源微还有单片清洗机、喷胶机等设备。”提及芯源微的发展空间，宗润福给记者举例，涂胶显影设备广泛应用于LED、化合物半导体、半导体后道封装、半导体前道制造领域。面对“广阔”市场，芯源微采用“农村包围城市”战略战术，从工艺要求相对比较低的化合物半导体、半导体封装开始，逐步向半导体前道设备迈进，实现了技术的积累和公司稳定成长。

记者了解到，在涂胶显影设备领域，芯源微开始从跟跑走到了并跑阶段，而且有望成为领跑。目前，在小尺寸LED、化合物半导体领域，芯源微用更具有性价比的设备超越了竞争对手，实现了领跑；在半导体后道封装领域，芯源微已经走到与国际厂商并跑的阶段，市场份额快速增长；在半导体前道制造领域，芯源微向领跑者发起挑战，实现了小批量出货，未来有长足的进步空间。

在半导体清洗设备领域，国产半导体公司同样面临着巨大的增长潜力。相关数据显示，到2024年，全球半导体清洗设备行业将达到70亿美元。目前，全球半导体清洗设备市场高度集中在日本迪恩士、东京电子，韩国SEMES等厂商手里。

宗润福介绍，单片清洗是当前主流的清洗技术路线，占晶圆制造清洗步骤数量的90%左右。尤其是，到28nm及以下先进制程，清洗工序等增加、洁净度要求提高，使得单片清洗设备的用量将大幅增加。

“芯源微只专注半导体设备。”对于上市后的战略规划，宗润福笃定的告诉记者，做高端制造业，不能这山望着那山高，也不要想着去开拓多种业务，去挣主业以外的快钱，半导体装备尤其需要这样专心、专注。“在半导体领域，只有做到了国内第一、国际前三，才有话语权和定价能力，才能保证企业即便吃不到肉也能喝着汤。”

芯源微的“芯语芯愿”

所有的成功，都是时间的酝酿和馈赠，这尤其体现在芯源微和宗润福的身上。

“芯源微所从事的涂胶显影设备、单片清洗设备等，其核心技术如离心机旋转、热板烘烤等，也是自动化控制的业务内容，我们恰好有坚实的自动化业务基础。”对于创业的缘起，宗润福告诉记者，这源于历史的积淀。

1988年，宗润福于哈尔滨工业大学工业自动化专业研究生毕业，从此就在中科院沈阳自动化研究所“扎了根”。从破格提拔为自动化所研究员，到享受国务院特殊津贴、历任科技处长等职、获得中科院科技进步一等奖……宗润福用十年的时间，在这里成长、积累，也为其在半导体设备领域的“一鸣惊人”积蓄了能量。

“东北是共和国的工业长子，老工业基地，具有深厚的半导体装备配套能力。”宗润福进一步介绍，不管是机械设计人才，还是电气化人才，乃至于装备设备和原材料，东北的积淀都如这片黑土地一样，深厚、肥沃。厚积薄发，当这些积淀与半导体设备需求碰撞到一起时，就迸发出创新的力量，激荡出科创公司，也奏出了“农村包围城市”的东北振兴鲜活乐章。

创新创业，是一个“自然生长”的事物。记者注意到，在这条名为“飞云路”的大街上，不足2公里的路程内，两侧分布着芯源微、中科新松、拓荆科技、沈阳科学仪器股份有限公司、沈阳富创精密设备有限公司等科技公司，已经形成了一个半导体装备小集群，开始产生产业集聚效应。

“中科院沈阳自动化研究所是一个应用技术研究所，应用技术的宗旨就是把技术转化为产品，并使其在国民经济中发挥最大的社会效益，也就是做产品做企业。”回顾芯源微的发展史，宗润福感慨，正是自己在自动化领域的积累、东北老工业基地的技术积淀、研究所的理念加持，共同推动了芯源微的成长。

时光荏苒，浑河的水悠悠流淌，不舍昼夜。19个春秋，芯源微默默成长，渐渐参天。“半导体是一个高度国际化竞争的行业，只有站稳国际竞争舞台，才意味着具有了长足的竞争力。”面对着产业“好年景”，宗润福强调，中国半导体公司必须立足国内，抓住当前三至五年的国产黄金窗口期；放眼世界，做超前的布局、长期研发投入，才能打造出世界级的中国半导体设备公司。

科创板，给了芯源微撬动上述黄金机会的资本杠杆。

编辑：全泽源

校对：孙洁华

图编：周   洋

制作：张   巘

责编：邵子怡

监制：浦泓毅

签发：潘林青

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