亚智科技 | 首台国产化10.5代面板湿制程设备成功研发并交付出货
ManzG10.5面板湿制程设备的技术重点包括:
精良的结构强度设计:G10.5的生产设备十分庞大,结构更大,必须改进结构强度设计,才能确保人员在设备槽体上盖进行保养或维修时,不会有槽体破裂与工程安全问题发生。因此,Manz在结构强度上进行了精良的设计调整及最大应力计算实验,确保设备在最大应力的分散及刚性足够而且具安全性。
优异的传送稳定度:
轴心采用轻量化设计:整体设备变大,输送机构也跟着放大,输送轴心过重容易产生偏摆,因此改采轻量化材料并增强强度,并采取破片防制设计,以达到优异的传送稳定度。
抗震抗偏摆的刷轮设计:除了轻量化轴心设计外,采用激光对心校正来进行组装精度控制,使得刷轮在500rpm转速的情况下,偏摆量XYZ轴振动值仍可控制在每秒0.2~0.5mm。
卓越的风刀吹干能力:Manz G10.5面板湿制程设备采用立式斜吹双出风口的风刀设计(Dual Ak),并通过气场模拟测试及实验机实测在槽体内的喷流压力平稳无紊流,大大提升吹干效果,Slit Gap风量均一性<10%,最高可吹干产速为9M/min (每分钟9米),为超大面板在高产速下提供优异的风刀吹干技术。
安全的药液控制设计:针对具有危险性的化学药液,除了采用业界标准的防爆系统外,在槽体盖板上也采用双层盖及防漏设计。
Manz 亚智科技30多年来专精于湿制程技术,总设备销售实绩超过7,500台,品质深获业界信赖。Manz 亚智科技总经理兼显示器及印刷电路板事业部主管林峻生表示:“针对超大世代面板的制程设备需求,我们通过积极与海内外先进团队共同投入G10.5新工艺设备与平台的研发,进而提供全面化的解决方案,以满足客户的新制程需求。此次G10.5湿制程设备的出货,不仅是Manz的一个重大的里程碑,更成功建立了超大世代面板湿制程设备国产化的前沿阵地,为中国制造2025的核心奠定了坚实的基础。“
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