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中国第一家光刻机芯源微电子科创板成功上市!开盘涨幅达96.51%

CINNO 2020-11-10


来源 :米牛股市速报、知更鸟的春天、打新君



2019年12月16日,国科投资持股企业沈阳芯源微电子设备股份有限公司成功于上交所科创板上市,股票简称“芯源微”,股票代码688037。这是继容百科技(688005)、新光光电(688011)7月22日同时首批挂牌科创板后,国科投资在2019年收获的第三个科创板IPO。



芯源微上市,创造了多项“第一”中国第一家半导体光刻工序设备上市公司。
芯源微全称为沈阳芯源微电子设备股份有限公司,成立于2002年,由中科院沈阳自动化研究所发起创建,专业从事半导体生产设备的研发、生产、销售与服务,致力于为客户提供半导体装备与工艺整体解决方案。
芯源微股票代码为688037,发行价格为每股26.97元,公开发行2100万股新股,占发行后公司股份总数的比例为为25%,发行后的总股本为8400万股,其中1768.3745万股今日起上市交易。
上交所官网的信息显示,芯源微今日开盘报53元,较26.97元的发行价上涨26.03元,涨幅为96.51%。
按开盘时的价格和发行后8400万股的总股本计算,芯源微今日开盘时的市值为44.52亿元,其中流通市值9.372385亿元。
芯源微是科创板本月第10家新上市的公司,也是科创板的第66家上市公司,此前已有华兴源创、睿创微纳等65家公司在科创板上市。
虽然目前A股已经有6家半导体装备公司,包括近期科创板上市的中微公司,产品线涉及硅晶制备、晶圆清洗、离子刻蚀、激光切割、封装测试等环节。但芯源微是第一家光刻工序专用装备上市企业,具备全球竞争力。光刻是芯片制造流程中技术含量最高、难度最大的一道工序。以光刻机霸主ASML为例,其一台EUV光刻机的价格可以达到1.2亿美金,还供不应求。芯源微的涂胶显影设备与ASML的光刻机配套,已在代表世界最先进水平的台积电获得批量应用。
中科院直接孵化的第一家科创板上市公司
科创板推出以来,已有65家科技创新企业挂牌上市,其中超过20%和中国科学院存在技术转移、成果转化合作关系,或由中科院科研人员创立。芯源微是首个中科院自身直接孵化企业在科创板成功上市的。公司创始股东中科院沈阳自动化研究所此前还孵化了深圳创业板第一批上市公司之一——新松机器人。据悉,中科院系统还有多家优秀科技成果转化企业正在进行上市申报或申报准备,有望在不久的将来系形成最“硬核”的科创板“中科院板块”。
辽宁省第一家科创板上市公司
依托雄厚的装备制造业积累,和以中科院沈阳自动化研究所为代表科研机构、高校基础,辽宁沈阳已经聚集了一批优质半导体设备企业,在国内集成电路产业崭露头角。根据规划,到2020年沈阳集成电路产业发展规模将达到100亿元,其中整机装备制造达到30亿元、零部件及配套达到60亿元、材料达到10亿元。芯源微,已经成为这一新兴半导体装备基地的代表性和龙头企业。
十七年磨一剑突破高端半导体装备“卡脖子”短板
芯源微此次发行,得到了资本市场的高度关注,中签率仅为0.046%,低于已挂牌65家公司中的42家;发行市盈率113倍,是科创板开市以来仅有的发行市盈率超过100倍的三家公司之一。
作为一家收入、利润规模都还不算大的公司,芯源微受到行业和资本认可的一个重要因素是,通过长期坚忍不拔、持续拼搏,公司成功突破了我国在涂胶显影设备上被发达国家“卡脖子”的短板。

2002年,芯源微由中国科学院沈阳自动化研究所和韩国STL公司合资设立。
2005年,芯源微涂胶显影设备销售到国内最大的封装企业江阴长电。
2007年,芯源微12英寸涂胶显影设备批量应用,实现国产IC装备在晶圆尺寸和工艺上的突破。
2013年,芯源微封装级设备批量出口至台湾市场,主要客户为台积电子公司,用于 iPhone手机指纹识别器件生产。
2016年,芯源微封装级设备批量销售至台积电总公司,用于当时世界最先进 iPhone手机 A10 处理器生产,实现了国产半导体装备的重大突破。
2018年,芯源微国内首台前道大线级涂胶显影设备“奉天一号”研制成功,进入上海华力进行工艺验证;2019年,前道晶圆加工环节用单片式清洗设备研制成功,进入中芯国际进行工艺验证。这两个重量级设备的推出,标志着芯源微从后道封装市场进入了规模大10倍的前道大线市场,打破了日本东京电子、迪恩士两家公司的高度垄断,把公司发展的天花板提升了几个数量级。
2017~2018年,芯源微连续获评中国半导体设备十强企业
“芯源微希望成为一家有高度、有深度、有硬度、有温度的企业”,芯源微董事长宗润福说,“在高度上,我们致力于占领全球半导体装备的制高点;在深度上,我们踏实稳健、潜心研发;在硬度上,我们对胜利负责、有钢铁执行力;在温度上,我们与员工、客户和供应商共同成长”。“我们还要特别感谢国家02重大专项(《极大规模集成电路制造技术及成套工艺》项目)2008年、2012年对公司的核心技术研发的大力支持!今天公司上市,是我们对重大专项交出的又一份结题答卷!”
公司简介


沈阳芯源微电子成立于 2002 年,与中微半导体、北方华创、盛美半导体、 上海睿励等同样耕耘 10 多年,致力于集成电路工艺设备国产化。公司主要从事半导体专用设备的研发、生产和销售,产品包括光刻工序涂胶 显影设备(涂胶/显影机、喷胶机)和单片式湿法设备(清洗机、去胶机、湿法 刻蚀机),产品可用于 6 英寸及以下单晶圆处理(如 LED 芯片制造环节)及 8/12 英寸单晶圆处理(如集成电路制造前道晶圆加工及后道先进封装环节)。公司成功突破了应用于集成电路制造 前道晶圆加工环节的涂胶显影设备技术,于 2018 年下半年分别发往上海华力、 长江存储进行工艺验证,其中,上海华力机台已于 2019 年 9 月通过工艺验证并 确认收入,长江存储机台目前仍在验证中。



根据 VLSI Research 统计,2018年全球半导体设备系统 及服务销售额为811亿美元,其中前五大半导体设备制造厂商占据了全球半导体设备市 场65%的市场份额。其中,美国在等离子刻蚀设备、离子注入机、外延生长系统、化学 气相沉积设备、溅射设备、退火设备、镀铜设备、去胶设备、掩膜版制造设备、工艺 检测设备、圆片清洗设备、部分测试设备等方面占据优势,日本在光刻机、涂胶设备、 显影设备、封装及测试设备、氧化/LPCVD 设备、等离子刻蚀设备、化学气相沉积设备、 检测设备、传送装置等方面具有优势,荷兰则在高端光刻机方面居于国际领先地位。


造前道涂胶显影及单片式清洗设备市场规模
根据 VLSl 提供的行业数据,全球前道涂胶显影设备销售额由 2013年的14.07亿美元增长至2018年的23.26亿美元,年均复合增长率达10.58%, 预计 2023 年将达到 24.76 亿美元;全球前道单片式清洗设备销售额由 2013 年的 16.31 亿美元增长至 2018 年的 22.69 亿美元,年均复合增长率达 6.83%,预计 2023 年将达到 23.14 亿美元。
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